[实用新型]一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置有效
| 申请号: | 202022754757.3 | 申请日: | 2020-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN214736213U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
| 发明(设计)人: | 陈宏;郝贵荣;杜晶;梁浩;张国威;李庆 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
| 主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 坩埚 位移 装置 | ||
1.一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚(10)内壁贴合的弧形弹性支撑部,弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片(6)和第二弧形片(7),第一弧形片(6)和第二弧形片(7)的内表面相向设置, 长度调节杆包括第一杆体(1)和第二杆体(2),第二杆体(2)远离弧形弹性支撑部的一端设有螺纹部(3),螺纹部(3)与第二杆体(2)螺纹相连。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述长度调节杆的两端固定连接有螺栓(5),螺栓(5)上固定设置有螺母(9),所述第一弧形片(6)铰接在螺栓(5)和螺母(9)之间。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述第一杆体(1)和所述第二杆体(2)的内侧设置有用于调节所述长度调节杆长短的长度调节部(4)。
4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述长度调节部(4)为六棱柱。
5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述第二弧形片(7)的外表面固定有橡胶层(8)。
6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述橡胶层(8)上设有防滑突起。
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