[实用新型]一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置有效

专利信息
申请号: 202022754757.3 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN214736213U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 陈宏;郝贵荣;杜晶;梁浩;张国威;李庆 申请(专利权)人: 山西中聚晶科半导体有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 030060 山西省晋中市榆次*** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 单晶炉 坩埚 位移 装置
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚(10)内壁贴合的弧形弹性支撑部,弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片(6)和第二弧形片(7),第一弧形片(6)和第二弧形片(7)的内表面相向设置, 长度调节杆包括第一杆体(1)和第二杆体(2),第二杆体(2)远离弧形弹性支撑部的一端设有螺纹部(3),螺纹部(3)与第二杆体(2)螺纹相连。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述长度调节杆的两端固定连接有螺栓(5),螺栓(5)上固定设置有螺母(9),所述第一弧形片(6)铰接在螺栓(5)和螺母(9)之间。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述第一杆体(1)和所述第二杆体(2)的内侧设置有用于调节所述长度调节杆长短的长度调节部(4)。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述长度调节部(4)为六棱柱。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述第二弧形片(7)的外表面固定有橡胶层(8)。

6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,其特征在于:所述橡胶层(8)上设有防滑突起。

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