[实用新型]一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置有效
申请号: | 202022754757.3 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN214736213U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 陈宏;郝贵荣;杜晶;梁浩;张国威;李庆 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 坩埚 位移 装置 | ||
本实用新型一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚内壁贴合的弧形弹性支撑部。弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片和第二弧形片,两个弧形片可以形成可受力的弹簧板,当受力超出弹簧板范围会发生形变,从而保证坩埚不会被从内部撑开而损伤坩埚,两根杆体,中间可以对接在一起,通过中间的螺丝扣转动,调节长度调节杆的长度,受力作用在坩埚内壁,然后即可以转动坩埚,微调坩埚的位置,使坩埚四周的距离在允许的误差范围内。本实用新型结构简单,制作成本低,减少坩埚操作中的人工成本,提高蓝宝石晶体生长质量。
技术领域
本实用新型设计晶体生长设备技术领域,具有的说是涉及一种适宜蓝宝石单晶炉坩埚位移装置。
背景技术
蓝宝石俗称刚玉,它具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。人造蓝宝石以氧化铝粉体或碎晶为原料,利用单晶炉高温加热制备产生。蓝宝石在高温炉内结晶,因为温度很高,需要用到钨坩埚装原料,坩埚重达200kg,且没有抓手等可着力点,坩埚内、外壁光滑。目前采用的办法是多人同时用双手挪动坩埚,费时费力。因此需要一个外装的发力装置使坩埚移动到合适位置,坩埚保持在热场中心从而使整个热场的径向梯度和纵向梯度保持在允许的误差范围内。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,克服现有技术中坩埚移动需要多人共同操作的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:一种蓝宝石单晶炉坩埚移动装置,包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚内壁贴合的弧形弹性支撑部。
优选的,所述弧形弹性支撑部包括固定相连的第一弧形片和第二弧形片,第一弧形片和第二弧形片的内表面相向设置。
优选的,所述长度调节杆包括第一杆体和第二杆体,第二杆体远离所述弧形弹性支撑部的一端设有螺纹部,螺纹部与第二杆体螺纹相连。
优选的,所述长度调节杆的两端固定连接有螺栓,螺栓上固定设置有螺母,所述第一弧形片铰接在螺栓和螺母之间。
优选的,所述第一杆体和所述第二杆体的内侧设置有用于调节所述长度调节杆长短的长度调节部。
优选的,所述长度调节部为六棱柱。
优选的,所述第二弧形片的外表面固定有橡胶层。
优选的,所述橡胶层上设有防滑突起。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果。
本实用新型设有两个可以紧贴坩埚内壁的圆弧橡胶垫,两个弧形片可以形成可受力的弹簧板,当受力超出弹簧板范围会发生形变,从而保证坩埚不会被从内部撑开而损伤坩埚,两根杆体,中间可以对接在一起,通过中间的螺丝扣转动,调节长度调节杆的长度,受力作用在坩埚内壁,然后即可以转动坩埚,微调坩埚的位置,使坩埚四周的距离在允许的误差范围内。本实用新型结构简单,制作成本低,减少坩埚操作中的人工成本,提高蓝宝石晶体生长质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的使用示意图。
图中,1-第一杆体,2-第二杆体,3-螺纹部,4-长度调节部,5-螺栓,6-第一弧形片,7-第二弧形片,8-橡胶层,9-螺母,10-坩埚。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1、图2所示,本实用新型一种蓝宝石单晶炉坩埚位移装置,包括长度调节杆,长度调节杆的两侧设置有与坩埚10内壁贴合的弧形弹性支撑部。
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