[实用新型]一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统有效
| 申请号： | 202021593729.1 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN213149538U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 苗岱;牛进毅 | 申请（专利权）人： | 山西云矽电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 030000 山西省太原市小店区康宁街康宁大厦(山西国际*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统，耔晶载物盘移动系统包括：控制模块、升降电机、旋转电机、旋转升降机构和耔晶载物盘，其中，控制模块电连接至升降电机以控制升降电机的驱动，且控制模块电连接至旋转电机以控制旋转电机的驱动；升降电机和旋转电机均与旋转升降机构连接以驱动旋转升降机构上升和旋转；耔晶载物盘水平设置在旋转升降机构上并且位于真空腔体中，耔晶载物盘随旋转升降机构的旋转和升降而进行旋转和升降。该耔晶载物盘移动系统在金刚石生长过程中耔晶载物盘的位置始终按照输入的配方表中的位置进行定位，定位精度较高，降低了耔晶生长的不确定因素，从而可以生长得到质量较好的金刚石耔晶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 plc 耔晶载物盘 移动 系统 金刚石 生长 | ||
【主权项】：
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