[实用新型]一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统有效
| 申请号： | 202021593729.1 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN213149538U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 苗岱;牛进毅 | 申请（专利权）人： | 山西云矽电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 030000 山西省太原市小店区康宁街康宁大厦(山西国际*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 plc 耔晶载物盘 移动 系统 金刚石 生长 | ||
1.一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统，其特征在于，包括：控制模块、升降电机、旋转电机、旋转升降机构和耔晶载物盘，其中，
所述控制模块电连接至所述升降电机以控制所述升降电机的驱动，且所述控制模块电连接至所述旋转电机以控制所述旋转电机的驱动；
所述升降电机和所述旋转电机均与所述旋转升降机构连接以驱动所述旋转升降机构上升和旋转；
所述耔晶载物盘水平设置在所述旋转升降机构上并且位于真空腔体中，所述耔晶载物盘随所述旋转升降机构的旋转和升降而进行旋转和升降。
2.如权利要求1所述的基于PLC的耔晶载物盘移动系统，其特征在于，还包括第一传感器和第二传感器，其中，
所述第一传感器设置在所述旋转升降机构中的升降导轨上的第一位置，且电连接至所述控制模块；
所述第二传感器设置在所述升降导轨上的第二位置，且电连接至所述控制模块；
所述旋转升降机构中的升降件可沿所述升降导轨在所述第一位置和所述第二位置之间进行移动。
3.如权利要求1所述的基于PLC的耔晶载物盘移动系统，其特征在于，还包括第一编码器和第二编码器，其中，
所述第一编码器与所述旋转电机和所述耔晶载物盘连接，且电连接至所述控制模块；
所述第二编码器与所述升降电机和所述耔晶载物盘连接，且电连接至所述控制模块。
4.如权利要求1所述的基于PLC的耔晶载物盘移动系统，其特征在于，还包括上位机和路由器，所述上位机与所述路由器双向连接，所述路由器与所述控制模块双向连接。
5.如权利要求4所述的基于PLC的耔晶载物盘移动系统，其特征在于，还包括测温仪，所述测温仪设置在所述真空腔体中且连接至所述控制模块。
6.如权利要求5所述的基于PLC的耔晶载物盘移动系统，其特征在于，还包括模拟量输入输出模块，所述测温仪连接至所述模拟量输入输出模块且所述模拟量输入输出模块与所述路由器双向连接。
7.一种金刚石生长系统，其特征在于，包括如权利要求1～6任一项所述的基于PLC的耔晶载物盘移动系统。
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