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[发明专利]一种基于PLC在金刚石生长系统中的控制方法-CN202010774584.3有效
发明人：苗岱;牛进毅 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于PLC在金刚石生长系统中的控制方法，包括：PLC控制器根据流程启动信号控制和真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行抽气控制流程；PLC控制器根据真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行工艺控制流程以进入金刚石生长流程；在金刚石生长流程中，PLC控制器根据从上位机获取的生长信息配方表，利用真空系统进行真空压力控制、利用耔晶载物盘系统进行生长位置控制、利用辉光系统进行辉光控制，同时利用工艺气体系统进行工艺气体控制；PLC控制器根据工艺停止信号和真空系统中元件的反馈信号对真空系统进行排气控制流程，使真空腔体内的压力恢复至常压。该方法在PLC的协同下实现了更安全更智能化的金刚石生长控制。
一种基于 plc 金刚石生长系统中的控制方法

[发明专利]碳化硅晶圆锭切割晶圆片的剥离方法及使用该方法的装置-CN202210714072.7在审
发明人：苗岱;牛进毅 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为碳化硅晶圆锭切割晶圆片的剥离方法，包括如下步骤，第一层晶圆片裂解：采用激光光束从SiC晶圆锭上表面辐照改质层，对晶体加热，使之产生热应力效应，同时在晶圆锭圆柱面沿着改质层进行激光刻蚀，形成一圈环切槽，多孔陶瓷吸盘从SiC晶圆锭上表面向下，对第一层晶圆片进行吸附，同时使金属裂片环沿着SiC晶圆锭圆柱面移动至改质层处，使金属裂片环嵌入至改质层的环切槽内，金属裂片环上方，多组外部液氮喷嘴同步向金属裂片环喷射液氮，在液氮的低温作用下，金属裂片环快速降温，金属裂片环在低温下收缩，在金属裂片环收缩时的挤压下，层晶圆片自晶圆锭裂解，简化了液氮存储搬运结构，减少了占地面积。
碳化硅晶圆锭切割晶圆片剥离方法使用装置

[发明专利]一种碳化硅晶圆锭切割晶圆片的多层改质方法及设备-CN202210727737.8在审
发明人：牛进毅;苗岱 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，特别是一种碳化硅晶圆锭切割晶圆片的多层改质方法及设备，包括如下步骤S1、将研磨抛光后的直径小于等于250mm，厚度100mm的SiC晶圆锭通过多孔陶瓷吸盘，固定到大理石平台上，平台的平整度达到0级；S2、激光改质；S3、激光器向上移动一个晶圆片的厚度。以770μm厚度的晶圆片为例，激光器向上移动850μm。使聚焦平面深度改为(N‑1)×850μm，然后激光束扫描整个焦平面重复2步骤，完成第2层SiC晶圆锭改质；S4、重复3步骤，直到完成N层SiC晶圆锭改质；通过调整改质激光器的技术指标，节省了每层剥离后对晶圆锭上表面进行研磨抛光的时间(研磨抛光时间10m)，以10层为例，减少了9次研磨抛光时间，节省了90m。
一种碳化硅晶圆锭切割晶圆片多层方法设备

[实用新型]用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统-CN202021593738.0有效
发明人：苗岱;牛进毅 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于金刚石生长的PLC冷却装置及金刚石生长系统，PLC冷却装置包括：控制模块、水冷机、若干进水管路、若干回水管路和若干水流计，其中，水冷机与控制模块双向电连接；若干进水管路中每路进水管路的进水端均连接至水冷机的出水口，若干进水管路中每个进水管路的出水端与金刚石生长系统中若干待冷却部件的冷却水入口一一对应连接；若干回水管路中每个回水管路的进水端与若干待冷却部件的冷却水出口一一对应连接，若干回水管路中每个回水管路的出口端均连接至水冷机的入水口；若干水流计一一对应设置在若干进水管路上，且若干水流计中的每个水流计均电连接至控制模块。该冷却装置能够达到无人值守的功能。
用于金刚石生长 plc 冷却装置系统

[实用新型]一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统-CN202021593729.1有效
发明人：苗岱;牛进毅 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统，耔晶载物盘移动系统包括：控制模块、升降电机、旋转电机、旋转升降机构和耔晶载物盘，其中，控制模块电连接至升降电机以控制升降电机的驱动，且控制模块电连接至旋转电机以控制旋转电机的驱动；升降电机和旋转电机均与旋转升降机构连接以驱动旋转升降机构上升和旋转；耔晶载物盘水平设置在旋转升降机构上并且位于真空腔体中，耔晶载物盘随旋转升降机构的旋转和升降而进行旋转和升降。该耔晶载物盘移动系统在金刚石生长过程中耔晶载物盘的位置始终按照输入的配方表中的位置进行定位，定位精度较高，降低了耔晶生长的不确定因素，从而可以生长得到质量较好的金刚石耔晶。
一种基于 plc 耔晶载物盘移动系统金刚石生长

[实用新型]一种微波等离子体化学气相沉积装置-CN202021593741.2有效
发明人：牛进毅;苗岱 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：与生长平台连接的带水冷的旋转升降机构，带水冷的旋转升降机构包括主轴、升降机构、旋转机构和冷却机构，其中，主轴与生长平台连接；升降机构与主轴连接，以驱动主轴带动生长平台在反应腔内上下移动；旋转机构与主轴连接，以驱动主轴带动生长平台在反应腔内做旋转运动；冷却机构与主轴连接，用于对生长平台进行水冷散热。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置，设置有与生长平台连接的带水冷的旋转升降机构，在制备金刚石膜时，可以为化学气相沉积工艺提供稳定的生长平台，避免了金刚石膜出现生长不均匀的现象，采用水冷散热，避免了由于采用冷却空气散热对电磁波产生微扰。
一种微波等离子体化学沉积装置

[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置-CN202021593746.5有效
发明人：牛进毅;苗岱 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：波导装置；反应腔，设置在所述波导装置下方，与所述波导装置连接；冷却罩，与所述反应腔连接，用于对所述反应腔进行风冷散热；屏蔽罩，围设在所述反应腔外部，以防止所述反应腔内的电磁辐射泄漏；旋转升降机构，所述旋转升降机构与所述反应腔内设置的生长平台连接，以实现所述生长平台在所述反应腔内做直线运动和旋转运动。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置，可以为化学气相沉积工艺提供稳定的生长平台，避免了金刚石膜出现生长不均匀的现象。
微波等离子体化学沉积装置

[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置-CN202010773689.7在审
发明人：牛进毅;苗岱 -专利权人：山西云矽电子科技有限公司
申请日： 2020-08-04 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：波导装置；反应腔，设置在所述波导装置下方，与所述波导装置连接；冷却罩，与所述反应腔连接，用于对所述反应腔进行风冷散热；屏蔽罩，围设在所述反应腔外部，以防止所述反应腔内的电磁辐射泄漏；旋转升降机构，所述旋转升降机构与所述反应腔内设置的生长平台连接，以实现所述生长平台在所述反应腔内做直线运动和旋转运动。本发明的微波等离子体化学气相沉积装置，可以为化学气相沉积工艺提供稳定的生长平台，避免了金刚石膜出现生长不均匀的现象。
微波等离子体化学沉积装置

[发明专利]一种焊带预处理设备-CN201611232830.2有效
发明人：王大伟;苗岱;牛进毅;王伟乾;马良;师筱娜;马斌;刘虎;闫永娜;李凌宇;张海鹏;刘彦利;李永珍 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种焊带预处理设备，包括安装在基板工作台上的各部件，分别为：料盘卷送料机构、用于清洗焊带的真空反应腔体和拉取剪裁机构，焊带料盘通过旋转主轴安装在大扭矩电机上，焊带通过拉取剪裁机构进行拉取，拉取过程中通过真空反应腔体进行等离子清洗，拉取剪裁机构通过伺服电机驱动拉取线性滑台及夹取气爪将焊带拉到设定位置后进行裁剪。本发明的焊带预处理设备，采用射频等离子技术，对铅锡合金焊带进行清洗，去除材料表面的污染物，提高了产线自动化程度和生产效率。
一种预处理设备

[发明专利]一种用于焊接玻璃金属化层与铅锡合金的设备-CN201611232826.6有效
发明人：王大伟;苗岱;牛进毅;王伟乾;马良;师筱娜;马斌;刘虎;闫永娜;李凌宇;张海鹏;刘彦利;李永珍 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： C03C27/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于焊接玻璃金属化层与铅锡合金的设备，包括安装在基板工作台上的各部件，分别为：料盘卷送料机构，拉取剪裁机构，焊带搬运机构，一号位玻璃X‑Y向传输机构，和设于一号位玻璃X‑Y向传输机构上方的点焊切边机构；焊带通过拉取剪裁机构从焊带料盘进行拉取，焊带搬运机构的两个搬运气爪夹紧将要剪切的一段焊带，夹紧装置夹紧焊带的另一端，剪切装置将焊带切断，切好的焊带通过焊带搬运机构搬运走，玻璃在一号位玻璃X‑Y向传输机构上利用第一X向传输轮组进行传输，点焊切边机构进行焊带切边处理，完成玻璃一次边焊带的布焊与切边。本发明避免静电损伤及二次污染，提高玻璃焊接强度并提高产线自动化程度,生产效率高。
焊带玻璃搬运机构传输机构拉取焊接玻璃剪裁机构金属化层铅锡合金切边机构点焊夹紧料盘搬运玻璃焊接二次污染夹紧装置剪切装置静电损伤切边处理生产效率送料机构剪切传输轮产线次边段焊基板气爪切边自动化传输

[发明专利]用于玻璃金属化层与铅锡合金焊接工艺的加工平台-CN201611232977.1有效
发明人：王大伟;苗岱;牛进毅;王伟乾;马良;师筱娜;马斌;刘虎;闫永娜;李凌宇;张海鹏;刘彦利;李永珍 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于玻璃金属化层与铅锡合金焊接工艺的加工平台，包括：一号位玻璃X‑Y向传输机构，其包括：第一X向传输轮组、第一Y向传输轮组、用于驱动第一Y向传输轮组上下活动的Y向传输提升机构；第一X向传输轮组包括多根平行设置的X向转轴，和设于所述X向转轴上的多个X向传输轮；第一Y向传输轮组包括多根平行设置的Y向转轴，和设于所述Y向转轴上的多个Y向传输轮；所述Y向转轴垂直设置于X向转轴的上方，X向传输轮的直径大于Y向传输轮，使Y向传输轮组不转动时，不影响X向传输轮组的转动。本发明主要应用于真空建筑玻璃在焊接抽真空前道工艺中，提高玻璃焊接强度并提高产线自动化程度,生产效率高。
用于玻璃金属化合金焊接工艺加工平台

[发明专利]晶圆片定位及测厚装置-CN201310665971.3有效
发明人：牛进毅;张峰;苗岱;贾娟芳 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆片定位及测厚装置，解决了现有的倒角设备是通过无识别的粗略定位进行倒角所造成的倒角后晶圆片外形尺寸同一性差的问题。包括在吸附台台板上的轴通过孔下方的吸附台台板的下底面上固定设置有带座轴承（2），伺服电机（5）的输出轴通过联轴器（6）与轴的下端连接，在吸附台台板上设置有动密封座（7）和真空导入盒（8），轴的上端是依次从动密封座和真空导入盒穿过的，在倒L形测厚仪支架（17）的顶架上设置有非接触测厚仪（18），在动密封座的左侧的吸附台台板上设置有直线电机定子（19）和直线电机动子（20），在直线电机转子上设置有镭射长度侦测仪的光幕发射器和镭射长度侦测仪的光幕接收器。提高了定位检测效率。
晶圆片定位装置

[实用新型]薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件-CN201220189601.8有效
发明人：苗岱;岳军;杜虎明;杨杰;卫晓冲;张峰;康冬妮;贾娟芳 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2012-04-28 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种薄膜玻璃基板制绒设备的制绒部件，解决了现有设备存在的自动化程度低和制绒薄厚不均匀的问题。包括PLC和矩形底槽（1），在矩形底槽（1）中套接有架高的刻蚀槽（2），在骨架（11）上设置有匀水板（12），在匀水板（12）上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管（9）的一端连通，刻蚀液下入液管（9）的另一端与入液总管（10）连通，在匀水板（12）上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊（7）、辊轮组（13）和送出辊（8），在辊轮组（13）的上方设置有刻蚀液喷淋管，在矩形底槽（1）的底部设置有动态排液管（27）。实现了自动化生产，提高了刻蚀质量。
薄膜太阳能玻璃基板制绒设备部件

[发明专利]薄膜太阳能玻璃基板制绒设备的制绒部件-CN201210130616.1无效
发明人：杜虎明;岳军;苗岱;杨杰;卫晓冲;张峰;康冬妮;贾娟芳 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2012-04-28 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜玻璃基板制绒设备的制绒部件，解决了现有设备存在的自动化程度低和制绒薄厚不均匀的问题。包括PLC和矩形底槽（1），在矩形底槽（1）中套接有架高的刻蚀槽（2），在骨架（11）上设置有匀水板（12），在匀水板（12）上均布有孔洞，在刻蚀槽底板设置有刻蚀液底部入口，刻蚀液底部入口与刻蚀液下入液管（9）的一端连通，刻蚀液下入液管（9）的另一端与入液总管（10）连通，在匀水板（12）上方从左到右依次设置有传送薄膜玻璃基板的接入辊（7）、辊轮组（13）和送出辊（8），在辊轮组（13）的上方设置有刻蚀液喷淋管，在矩形底槽（1）的底部设置有动态排液管（27）。实现了自动化生产，提高了刻蚀质量。
薄膜太阳能玻璃基板制绒设备部件

[实用新型]超声打孔机视觉定位系统-CN201020137950.6无效
发明人：孙晓波;李俊岭;岳军;牛进毅;苗岱;王大伟;任耀华;贾娟芳;刘畅;马良;田娜;康冬妮;张峰;卫晓冲;庞师军;师筱娜 -专利权人：中国电子科技集团公司第二研究所
申请日： 2010-03-23 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声打孔机视觉定位系统，解决了现有超声打孔机，人为因素影响大，定位精度低的技术问题。超声打孔机视觉定位系统，包括数控铣床(1)、数控铣床控制器(2)、数控铣床主轴旋转组件(3)、视觉系统组件(4)、数控铣床工作台(6)及其上的气悬浮工作台(5)，数控铣床主轴旋转组件(3)的一侧固定设置有视觉系统组件(4)的安装支架(7)，在该安装支架(7)上固定设置有相机(10)和镜头(9)，在镜头(9)的一侧设置有光源(8)，镜头(9)设置在气悬浮工作台(5)的上方，相机(10)与数控铣床控制器(2)电连接在一起。实现了超声打孔机全自动准确定位。
超声打孔机视觉定位系统

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