[实用新型]一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统

说明书

本实用新型涉及一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统，耔晶载物盘移动系统包括：控制模块、升降电机、旋转电机、旋转升降机构和耔晶载物盘，其中，控制模块电连接至升降电机以控制升降电机的驱动，且控制模块电连接至旋转电机以控制旋转电机的驱动；升降电机和旋转电机均与旋转升降机构连接以驱动旋转升降机构上升和旋转；耔晶载物盘水平设置在旋转升降机构上并且位于真空腔体中，耔晶载物盘随旋转升降机构的旋转和升降而进行旋转和升降。该耔晶载物盘移动系统在金刚石生长过程中耔晶载物盘的位置始终按照输入的配方表中的位置进行定位，定位精度较高，降低了耔晶生长的不确定因素，从而可以生长得到质量较好的金刚石耔晶。

技术领域

本实用新型属于自动控制技术领域，具体涉及一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统。

背景技术

金刚石作为一种宽带隙半导体材料，具有许多与众不同的性能，如大的禁带宽度、低的介电常数、高的击穿电压、高的电子空穴迁移率、高的热导率及优越的抗辐射性能，且化学稳定性好。所有这些物理、化学和电学特性使得金刚石在工业和民用的许多领域有着广阔的应用前景。

目前人工合成金刚石的方法有高温高压法(HTHP)、直流电弧等离子体喷射法(DCAPJ)、热丝化学气相沉积法(HFCVD)、微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)等。其中，由于微波激发的等离子可控性好、等离子密度高且无电极污染，MPCVD是制备高品质金刚石的首选方法。

然而，在现有的金刚石生长系统中，随着耔晶厚度的增加，需要操作者根据经验实时调整耔晶表面的位置，人为操作误差较大，导致耔晶生长的不确定因素较多，使得耔晶生长的质量欠佳。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统及金刚石生长系统。本实用新型要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本实用新型实施例提供了一种基于PLC的耔晶载物盘移动系统，包括：控制模块、升降电机、旋转电机、旋转升降机构和耔晶载物盘，其中，

所述控制模块电连接至所述升降电机以控制所述升降电机的驱动，且所述控制模块电连接至所述旋转电机以控制所述旋转电机的驱动；

所述升降电机和所述旋转电机均与所述旋转升降机构连接以驱动所述旋转升降机构上升和旋转；

所述耔晶载物盘水平设置在所述旋转升降机构上并且位于真空腔体中，所述耔晶载物盘随所述旋转升降机构的旋转和升降而进行旋转和升降。

在本实用新型的一个实施例中，还包括第一传感器和第二传感器，其中，

所述第一传感器设置在所述旋转升降机构中的升降导轨上的第一位置，且电连接至所述控制模块；

所述第二传感器设置在所述升降导轨上的第二位置，且电连接至所述控制模块；

所述升降件可沿所述升降导轨在所述第一位置和所述第二位置之间进行移动。

在本实用新型的一个实施例中，还包括第一编码器和第二编码器，其中，

所述第一编码器与所述旋转电机和所述耔晶载物盘连接，且电连接至所述控制模块；

所述第二编码器与所述升降电机和所述耔晶载物盘连接，且电连接至所述控制模块。

在本实用新型的一个实施例中，还包括上位机和路由器，所述上位机与所述路由器双向连接，所述路由器与所述控制模块双向连接。

在本实用新型的一个实施例中，还包括测温仪，所述测温仪设置在所述真空腔体中且连接至所述控制模块。

在本实用新型的一个实施例中，还包括模拟量输入输出模块，所述测温仪连接至所述模拟量输入输出模块且所述模拟量输入输出模块与所述路由器双向连接。