[实用新型]一种新型半导体芯片用多元化清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种新型半导体芯片用多元化清洗设备，属于半导体芯片加工设备技术领域，包括清洗罐，所述清洗罐的顶部设置有罐盖，所述罐盖的底部卡接有轴承，所述轴承内套接有转轴，所述转轴的表面开设有第一连接槽，所述第一连接槽内侧的底部开设有第二连接槽，并且转轴表面对第二连接槽的位置开设有连接孔。本实用新型中，通过水泵、超声波发生器、冷却管、喷头、吸头、轴承、转轴以及网板之间的互相配合，可对超声波发生器起到降温的作用，有效的避免超声波发生器经过长时间的运行出现温度过高停机的现象，半静态的超生波清洗方式与水泵的动态清洗方式互相配合，不仅可有效提高清洗效果，同时还可在一定程度上缩短清洗所花费的时长。