[实用新型]一种化学气相沉积炉气体预热装置

摘要

本实用新型提供一种化学气相沉积炉气体预热装置。所述化学气相沉积炉气体预热装置包括：预热设备本体；竖型盖板一，所述竖型盖板一固定连接在预热设备本体上；放置盒，所述放置盒滑动安装在预热设备本体上；圆型进气管，所述圆型进气管设置在预热设备本体上；方型置放槽，所述方型置放槽开设在预热设备本体上，所述方型置放槽与放置盒滑动连接；竖型连接板，所述竖型连接板固定安装在竖型盖板一的一侧。本实用新型提供的化学气相沉积炉气体预热装置具有使用方便，能够简单有效的采用电动式将预热设备本体上的放置盒拉出，避免化学药品触及到皮肤，操作起来简单便捷的优点。