[实用新型]一种化学气相沉积炉气体预热装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，包括：

预热设备本体；

竖型盖板一，所述竖型盖板一固定连接在预热设备本体上；

放置盒，所述放置盒滑动安装在预热设备本体上；

圆型进气管，所述圆型进气管设置在预热设备本体上；

方型置放槽，所述方型置放槽开设在预热设备本体上，所述方型置放槽与放置盒滑动连接；

竖型连接板，所述竖型连接板固定安装在竖型盖板一的一侧；

铰接固定块一，所述铰接固定块一固定安装在竖型连接板远离竖型盖板一的一侧；

液压缸，所述液压缸铰接在铰接固定块一上；

铰接固定块二，所述铰接固定块二固定安装在液压缸的输出轴上；

匚型固定杆，所述匚型固定杆固定安装在放置盒的底部；

滑杆，所述滑杆滑动套设在匚型固定杆上，所述滑杆的底端铰接在铰接固定块二上。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，所述匚型固定杆上滑动套设有拉簧，所述拉簧的一端与滑杆固定连接，所述拉簧的另一端与匚型固定杆固定连接。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，所述方型置放槽的两侧内壁上均开设有滑槽，所述滑槽内滑动安装有滑块，两个滑块相互靠近的一侧均与放置盒固定连接。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，所述滑杆上开设有第一通孔，所述第一通孔与匚型固定杆滑动连接。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，所述圆型进气管上滑动套设有凹型防尘过滤网，所述凹型防尘过滤网上滑动安装有圆柱形拉杆，所述圆柱形拉杆的底端固定安装有弧形固定压板，所述圆柱形拉杆上滑动套设有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的顶端与凹型防尘过滤网的顶部内壁固定连接，所述伸缩弹簧的底端与弧形固定压板固定连接。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，所述凹型防尘过滤网上开设有第二通孔，所述第二通孔与圆柱形拉杆滑动连接，所述圆柱形拉杆的顶端固定安装有把手。

7.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于，所述弧形固定压板的底部固定安装有缓冲垫，所述缓冲垫为橡胶材质制作而成。