[实用新型]一种化学气相沉积炉气体预热装置

说明书

本实用新型提供一种化学气相沉积炉气体预热装置。所述化学气相沉积炉气体预热装置包括：预热设备本体；竖型盖板一，所述竖型盖板一固定连接在预热设备本体上；放置盒，所述放置盒滑动安装在预热设备本体上；圆型进气管，所述圆型进气管设置在预热设备本体上；方型置放槽，所述方型置放槽开设在预热设备本体上，所述方型置放槽与放置盒滑动连接；竖型连接板，所述竖型连接板固定安装在竖型盖板一的一侧。本实用新型提供的化学气相沉积炉气体预热装置具有使用方便，能够简单有效的采用电动式将预热设备本体上的放置盒拉出，避免化学药品触及到皮肤，操作起来简单便捷的优点。

技术领域

本实用新型涉及化学技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉气体预热装置。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，相关技术中，公开了一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括壳体、过滤机构、混合机构、换热管、放置盒和盖板；壳体的左右表面通过法兰连接盘安装有连接罩，连接罩上设有连接管；过滤机构与左侧的连接管连通；混合机构安装在壳体的前表面；换热管分布在壳体的内部，且与连接罩连通；放置盒通过限位机构安装在壳体前表面的放置槽中，放置盒上设有把手；不会占用装料空间，可以加快空气的流动，能够提高对空气的预热效率，提高了生产效率。

但是，上述技术中还存在不足之处，由于预热设备本体在工作会应用到相关的化学药品，而这些药品不能够保证会外泄的可能性，采用手动式打开放置盒，则化学药品有可能触及到皮肤，对使用者而言会带来危险性。

因此，有必要提供一种新的化学气相沉积炉气体预热装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便，能够简单有效的采用电动式将预热设备本体上的放置盒拉出，避免化学药品触及到皮肤，操作起来简单便捷的化学气相沉积炉气体预热装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的化学气相沉积炉气体预热装置包括：预热设备本体；竖型盖板一，所述竖型盖板一固定连接在预热设备本体上；放置盒，所述放置盒滑动安装在预热设备本体上；圆型进气管，所述圆型进气管设置在预热设备本体上；方型置放槽，所述方型置放槽开设在预热设备本体上，所述方型置放槽与放置盒滑动连接；竖型连接板，所述竖型连接板固定安装在竖型盖板一的一侧；铰接固定块一，所述铰接固定块一固定安装在竖型连接板远离竖型盖板一的一侧；液压缸，所述液压缸铰接在铰接固定块一上；铰接固定块二，所述铰接固定块二固定安装在液压缸的输出轴上；匚型固定杆，所述匚型固定杆固定安装在放置盒的底部；滑杆，所述滑杆滑动套设在匚型固定杆上，所述滑杆的底端铰接在铰接固定块二上。

优选的，所述匚型固定杆上滑动套设有拉簧，所述拉簧的一端与滑杆固定连接，所述拉簧的另一端与匚型固定杆固定连接。

优选的，所述方型置放槽的两侧内壁上均开设有滑槽，所述滑槽内滑动安装有滑块，两个滑块相互靠近的一侧均与放置盒固定连接。

优选的，所述滑杆上开设有第一通孔，所述第一通孔与匚型固定杆滑动连接。

与相关技术相比较，本实用新型提供的化学气相沉积炉气体预热装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种化学气相沉积炉气体预热装置，通过液压缸、铰接固定块二、匚型固定杆、滑杆和拉簧相互配合下，能够简单有效的将放置盒拉出或者打开，避免工作人员用手打开放置盒，化学药品伤及到皮肤，便于使用者操作。