[发明专利]感应耦合电浆设备及其操作方法在审
| 申请号： | 202011536346.5 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114664621A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 廖耕颍;董怀仁;林子平;陈柏仁;陈明凯;陈希贤;苏明宏;林玉珠;任啟中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种感应耦合电浆设备及其操作方法，操作感应耦合电浆设备的方法包含：将一第一磁场遮蔽元件设置邻近于一反应室的一第一侧；当第一磁场遮蔽元件设置邻近于该反应室的该第一侧时，进行一第一电浆制程；在进行完该第一电浆制程之后，从该反应室的该第一侧，移除该第一磁场遮蔽元件；以及在从该反应室的该第一侧移除该第一磁场遮蔽元件之后，进行一第二电浆制程。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 设备 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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