[发明专利]一种三元气体混合浴的钙钛矿薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202011480148.1 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112626489A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘家梁;赵志国;秦校军;赵东明;肖平;董超;熊继光;王百月;刘娜 | 申请（专利权）人： | 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/455;C23C14/20;C23C14/24;H01L51/42;H01L51/48;H01L51/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 102209 北京市昌平区北七*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种三元气体混合浴的钙钛矿薄膜的制备方法，包括以下步骤：利用气相三元气体混合浴法在基底上制备得到钙钛矿薄膜；本发明通过气相三元混合气体浴的方法进行钙钛矿薄膜的制备，操作简单，避免了溶液使用的同时，拓展了钙钛矿薄膜气相制备的途径，且对导电基底要求较低，材料易得无污染，且效果明显。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三元 气体 混合 钙钛矿 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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