[发明专利]热电子发射阴极及其组成的热电子和离子发射装置在审
| 申请号： | 202011182424.6 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN114429892A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李河圣;朴兴雨;朱宁炳;刘金彪;刘青;王垚;张琦辉;李琳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/075 | 分类号： | H01J37/075;H01J37/08;H01J37/317;H01J9/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 金铭 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种热电子发射阴极及其组成的热电子和离子发射装置。一种热电子发射阴极，包括：热电子发射基底面；所述热电子发射基底面上分布有多个突起部。本发明提供的阴极具有更大的比表面积，释放热电子的面积更大，可以提高热电子的利用率，延长设备使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 阴极 及其 组成 离子 装置 | ||
【主权项】：
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