[发明专利]铁电存储器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010861644.5 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111952288B | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 吕震宇;张暐;戴晓望 | 申请（专利权）人： | 无锡拍字节科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/11507 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种铁电存储器及其制造方法，该铁电存储器包括存储单元阵列，每个存储单元包括晶体管和与晶体管连接的铁电电容，所述铁电电容包括第一电极、第二电极和位于第一电极和第二电极之间的铁电材料层，其中在第一电极或第二电极的至少一个中掺杂有第五族金属元素中的至少一种。通过在电极中掺杂第五族金属元素可以改善铁电存储器的产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡拍字节科技有限公司，未经无锡拍字节科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010861644.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
