[发明专利]一种半导体芯片生产设备电路检测装置在审
| 申请号： | 202010804901.1 | 申请日： | 2020-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111948516A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 许同 | 申请（专利权）人： | 许同 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/327;G01R1/02;G01M13/00 |
| 代理公司： | 合肥兆信知识产权代理事务所(普通合伙) 34161 | 代理人： | 朱陈晨 |
| 地址： | 238300 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明专利涉及半导体加工器械检测装置技术领域，尤其涉及一种半导体芯片生产设备电路检测装置，包括搭载电路板,搭载电路板的顶端固定有控制按钮，搭载电路板的两侧滑动连接有配装总架，配装总架的两侧均焊接有定位搭载架。本发明专利通过多档调速按压寿命测试结构的设计，使得装置便于进行多种不同按压速度的测试，从而达到对器械的点控按钮电路的按钮使用寿命进行全面检测，配合按压处的拍摄和装置控制传导模块，便于在测试的同时将测试效果视频同步至云端，及时存储和观测，且通过防跳动稳定定位结构及装置整体边装设计，使得装置便于携带随时装配搭载与被测试电路板，并完成板材跳动的定位，避免了被测电路板跳动影响检测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 芯片 生产 设备 电路 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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