[发明专利]显示面板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 202010615083.0 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111710685B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 谢锋 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;H01L27/32 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 王文 |
地址: | 361101 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种显示面板及其制作方法、显示装置。显示面板包括:衬底;驱动阵列层,驱动阵列层包括硅晶体管以及氧化物晶体管,硅晶体管包括硅有源层以及第一栅极,氧化物晶体管包括氧化物有源层以及第二栅极,其中,硅有源层与氧化物有源层同层设置;驱动阵列层还包括氮化硅栅绝缘层和第一氧化硅栅绝缘层,氮化硅栅绝缘层、第一氧化硅栅绝缘层中的至少一者位于硅有源层背离衬底的表面,氮化硅栅绝缘层包括第一开口,第一开口在衬底上的正投影覆盖氧化物有源层在衬底上的正投影,第一氧化硅栅绝缘层还位于氧化物有源层背离衬底的表面。根据本发明实施例的显示面板,降低包含两种半导体材料晶体管的显示面板的制作难度。 | ||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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