[发明专利]基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计在审
| 申请号： | 202010558196.1 | 申请日： | 2020-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111521842A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 张瑞;王旭虎 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/14 | 分类号： | G01P15/14 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 基于隧道磁阻检测的静电刚度调节Z轴谐振式微加速度计，包括：支撑框架，键合基板，扭转支撑梁，扭转质量块，谐振质量块，磁阻元件，固定刚度调节电极，可动刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体；支撑框架设置在键合基板上，扭转质量块设置在支撑框架上开设的第一质量块安装槽内，扭转质量块通过扭转支撑梁与支撑框架连接；谐振质量块设置在扭转质量块上开设的第二质量块安装槽内，谐振质量块的四个边角通过驱动组合梁与扭转质量块连接，磁阻元件设置在谐振质量块上，谐振质量块的X轴两端设置可动刚度调节电极；键合基板上设置有固定刚度调节电极，检测磁体和驱动磁体，分别对应调节电极露出孔、磁阻元件、驱动组合梁的位置设置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 隧道 磁阻 检测 静电 刚度 调节 谐振 式微 加速度计 | ||
【主权项】：
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