[发明专利]DRAM氧化物电极、DRAM及其应用在审
| 申请号： | 202010545328.7 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN111883517A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 徐光伟;熊文豪;龙世兵;赵晓龙;白卫平 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/108 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘歌 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
一种DRAM氧化物电极、DRAM及其应用，该氧化物电极采用的材料包括RuO |
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| 搜索关键词： | dram 氧化物 电极 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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