[发明专利]多孔基质过滤器及其制作方法在审
| 申请号: | 202010449411.4 | 申请日: | 2016-02-13 |
| 公开(公告)号: | CN111593324A | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
| 发明(设计)人: | B·C·亨德里克斯;D·W·彼得斯;李卫民;C·瓦尔德弗里德;R·A·库克;N·困达;林奕宽 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号: | C23C16/40 | 分类号: | C23C16/40;C23C16/455;B01D46/00;B01D46/54 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本申请描述了一种多孔基质过滤器及其制作方法。在各种应用中,衬底包含金属表面,所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物,其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触,所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层,所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、热性质或结构性质。描述涂覆所述金属表面及用于选择所利用的涂层材料的各种方法。 | ||
| 搜索关键词: | 多孔 基质 过滤器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





