[发明专利]一种氧化镓膜的制备方法及其应用有效
| 申请号： | 202010432428.9 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111663181B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 修向前;辛国庆;李悦文;张荣;华雪梅;谢自力;陈鹏;韩平;陆海;施毅;郑有炓 | 申请（专利权）人： | 辛国庆 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B25/18 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林德强 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化镓膜的制备方法及其应用。这种氧化镓膜的制备方法包括以下步骤：1)采用卤化物气相外延法，在衬底上制得氮化镓膜；2)在含氧气氛中，将氮化镓膜氧化形成氧化镓/氮化镓复合膜；3)采用卤化物气相外延法，在氧化镓/氮化镓复合膜上进行氧化镓的原位厚膜生长，形成氧化镓膜；4)将氧化镓膜与衬底剥离，得到氧化镓膜。本发明这种氧化镓膜可以作为一种自支撑的氧化镓衬底。本发明的制备方法可以有效降低卤化物气相外延生长氧化镓厚膜材料中应力并降低位错密度，得到高质量的自支撑氧化镓厚膜，同时也更容易分离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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