[发明专利]暖机控制方法和半导体加工设备有效
| 申请号： | 202010321947.8 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111501003B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陈雪涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种暖机控制方法和半导体加工设备，该方法包括：在启动预置的配置界面时，读取预先存储在配置文件中的工艺腔室的暖机属性的初始值，并在配置界面中显示；暖机属性包括暖机标识、暖机时间阈值和暖机任务名称；若暖机标识表征为需要暖机，则实时获取工艺腔室的当前空闲时间，并判断当前空闲时间是否大于暖机时间阈值；若大于，则发出暖机提示；在接收到使用者输入的确认信息时，切换至预置的暖机界面，暖机界面上显示是否执行暖机任务的选项；在接收到使用者输入的执行暖机任务的指令时，根据暖机任务名称对应的暖机配方执行暖机任务。本发明提供的暖机控制方法，可以避免使用者对需要暖机的工艺腔室直接执行任务，减少误操作。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 方法 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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