[发明专利]一种背出光的面射型激光器结构及其制作方法和应用在审
| 申请号： | 202010224240.5 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111653938A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡文必;陈文欣;邱姝颖 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/187 | 分类号： | H01S5/187 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;陈淑娴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种背出光的面射型激光器结构及其制作方法和应用，是在基板的正面依次层叠低反射率的底部DBR、主动区和高反射率的顶部DBR，将顶面出光改变为背面出光，同时在基板对应出光区域位置设置出光孔，使光由基板的出光孔导出。与集成电路芯片整合时，将面射型激光器结构背面朝下的覆设于集成电路芯片上并进行电路连接，封装工艺简单快速，可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背出光 面射型 激光器 结构 及其 制作方法 应用 | ||
【主权项】：
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- 垂直腔表面发出激光器-201922310494.4
- 李基煌;卢正来;俞炳秀;田润尚;崔功熙 - 首尔伟傲世有限公司
- 2019-12-20 - 2020-08-04 - H01S5/187
- 本公开提供一种垂直腔表面发出激光器(VCSEL)，其包括：下反射镜；上反射镜；活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。
- 一种激光器结构-201811571087.2
- 李全杰;刘向英 - 西安智盛锐芯半导体科技有限公司
- 2018-12-21 - 2020-06-30 - H01S5/187
- 本发明涉及一种激光器结构，该结构自下而上依次包括：衬底层；第一分布式布拉格反射镜层；第一n型Ge层；第二n型Ge层；第一p型Ge层；第二p型Ge层；第二分布式布拉格反射镜层。本发明的激光器结构采用GaAs/AIAs超晶格材料作为高折射率材料层、采用AIAs材料作为低折射率材料层，形成的分布式布拉格反射镜，代替传统的FB谐振腔，使得加工简单、激光的单色性更好，而且可以降低工艺难度，也不容易脱落。
- 专利分类
