[发明专利]封装结构、半导体器件和封装方法在审
申请号: | 202010207973.8 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN111370375A | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 王蔚;钱孝清;杜鹏;沈戌霖 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/31;H01L23/538;H01L21/48;H01L21/78 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 于保妹 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明揭示了一种封装结构、半导体器件和封装方法,该封装结构包括:芯片单元,包括衬底以及位于衬底表面的客户层,定义所述客户层背离所述衬底的表面为第一表面,所述衬底背离所述客户层的表面为第二表面,所述客户层内形成有焊垫;焊接凸起,形成于芯片单元的第二表面;金属布线层,电性连接于所述焊垫和焊接凸起之间;绝缘层,形成于所述金属布线层和芯片单元之间,所述绝缘层包括依次形成于所述芯片单元表面的二氧化硅层和Si |
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搜索关键词: | 封装 结构 半导体器件 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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