[发明专利]一种蚀刻液组合物及其应用在审
| 申请号： | 202010119750.6 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113106453A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;杜冰;刘文永;方磊;赵建龙;张兵;向文胜 | 申请（专利权）人： | 江苏艾森半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F11/14;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻液组合物及其应用，所述蚀刻液组合物包括如下组分：过氧化氢、氟化物、金属缓蚀剂、过氧化氢稳定剂、金属络合剂、无机盐和水。本发明提供的蚀刻液组合物采用了一种新配方，通过各组分之间的协同作用，能够提高蚀刻液组合物能够较好的兼容多种膜层结构和材料，蚀刻后无残留，保存条件温和，降低仓储，运输成本，同时耐受铜离子量高，降低使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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