[发明专利]放射线图像探测器及其制作方法有效
申请号: | 202010072176.3 | 申请日: | 2020-01-21 |
公开(公告)号: | CN111261648B | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 顾铁;黄忠守 | 申请(专利权)人: | 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;A61B6/00 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 李晓霞 |
地址: | 200135 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种放射线图像探测器及其制作方法。放射线图像探测器包括:基板;位于基板上的光学图像探测器包括光敏像素组成的阵列;光敏像素包括第一电极层,光电转换层,第二电极层;第一电极层包括和光电转换层直接接触的第一接触面,第二电极层包括和光电转换层直接接触的第二接触面;光电转换层包括中心区域和边墙区域,中心区域包括第一接触面和第二接触面在光电转换层的正投影的重叠部分,边墙区域为除中心区域以外的区域;相邻的光敏像素之间具有沟壑区;放射线转换层;像素化的聚光结构位于光敏像素和放射线转换层之间,将本来要进入沟壑区和边墙区域的可见光汇聚到中心区域。本发明能够提升入射光的利用率,同时提升图像质量。 | ||
搜索关键词: | 放射线 图像 探测器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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