[发明专利]半导体膜在审
申请号: | 201980093713.8 | 申请日: | 2019-09-10 |
公开(公告)号: | CN113677834A | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 渡边守道;福井宏史 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | C30B29/16 | 分类号: | C30B29/16 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
本发明提供结晶缺陷明显较少的α-Ga |
||
搜索关键词: | 半导体 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本碍子株式会社,未经日本碍子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980093713.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体膜
- 下一篇:用于产生气态活性成分或气态活性成分混合物的装置