[发明专利]钌蚀刻组合物和方法在审
| 申请号： | 201980081808.8 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN113195681A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | S·里皮;E·I·库珀 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/306;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供适用于选择性地蚀刻钌和/或铜的组合物。所述组合物包含某些过碘酸盐化合物、氢氧化烷基铵或烷基鏻、碳酸盐或碳酸氢盐缓冲剂和水，其中所述组合物的pH为约9至约12.5。本发明的组合物有效用于本发明的方法中且已发现能够以类似速率，即20/min蚀刻Cu和Ru，同时将介电质的蚀刻速率降至最低(2/min)。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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