[发明专利]玻璃装置的制造方法以及玻璃装置在审
申请号: | 201980036910.6 | 申请日: | 2019-06-07 |
公开(公告)号: | CN112335037A | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 泽田石将士 | 申请(专利权)人: | 凸版印刷株式会社 |
主分类号: | H01L23/15 | 分类号: | H01L23/15;B23K26/53;C03C15/00;H01L23/32 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 常海涛;金小芳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 能够更简便地提供具有玻璃厚度为300μm以下的薄玻璃基板的玻璃装置。在玻璃装置的制造方法中,在玻璃基板(10)中形成一个以上的贯通孔(40),并经由贯通孔(40)将玻璃基板的第一面上的第一布线(14)和第二面上的第二布线(15)连通起来。在形成第一布线(14)以后,通过蚀刻形成贯通孔(40)并且使玻璃基板(10)变薄,然后形成贯通孔(40)内的布线和第二布线(15),变薄后的玻璃基板(10)的厚度为50μm以上300μm以下,贯通孔(40)的形状为圆锥台形状。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 装置 制造 方法 以及 | ||
【主权项】:
暂无信息
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