[发明专利]药液、药液的制造方法及被检液的分析方法在审
| 申请号： | 201980007846.9 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111587405A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 上村哲也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于提供一种即使在应用于利用KrF准分子激光曝光及ArF准分子激光曝光进行的抗蚀剂工艺时也具有优异的缺陷抑制性能的药液。并且，本发明的课题还在于提供一种被检液的分析方法及药液的制造方法。本发明的药液含有：有机溶剂；及含金属粒子，含有金属原子且粒径为10～100nm，所述药液中，含金属粒子的含有粒子数为1.0×10 |
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| 搜索关键词： | 药液 制造 方法 被检液 分析 | ||
【主权项】：
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- 曾德用 - 苏州锦特康电子科技有限公司
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- 本实用新型公开了一种晒版机软片涂粉供料装置，包括丝杠，丝杠连接有螺母，丝杠的两端分别连接驱动电机一和固定座，螺母连接有干燥剂箱，干燥剂箱的左右两侧均连接有刷杆，刷杆的下端连接有刷毛；干燥剂箱包括箱体，箱体的下端设有干燥剂出口，箱体内设有干燥剂压辊，干燥剂压辊连接有驱动电机二，驱动电机二连接有驱动液压缸，箱体的前后两侧均开设有压辊调节孔，干燥剂压辊上端的箱体内侧壁上连接有调节上盖，干燥剂压辊下端的箱体内设有调节下盖，调节下盖连接伸缩杆的一端，伸缩杆的另一端与箱体的外侧壁连接，伸缩杆上套设有弹簧。本实用新型涂粉更加均匀；干燥剂压辊的上下高度可以调节，便于满足不同的涂粉需求。
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