[实用新型]一种半导体芯片分离装置有效
申请号: | 201922492483.2 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN211788950U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 王文学;宋杰 | 申请(专利权)人: | 叁技科技(天津)有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人: | 龚家骅 |
地址: | 300385 天津市西青区*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及半导体芯片分离设备技术领域,且公开了一种半导体芯片分离装置,包括分离台,所述分离台的内腔固定安装有下液压电机,所述下液压电机的顶端固定套接有顶升杆,所述顶升杆的顶端固定安装有软性顶升板。本实用新型通过在分离台的内部设置一个负压发生器,使得可以利用负压发生器进行抽负压,然后在粘胶层的两侧开设负压口,并将密封口安装在其下,使得可以通过密封口底部的抽气管与负压发生器相连进行抽负压,从而辅助粘胶层进行吸附,提高附着力,使得装置在长期使用下,仍然有较强的吸附力,提高装置的使用寿命,并且不会出现由于吸附力过小导致分离失败的情况出现,提高了装置的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 分离 装置 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造