[实用新型]一种应用于半导体清洗机台的防静电输送带有效

专利信息
申请号: 201922193423.0 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN210897229U 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 洪飞;洪志浩;周俊宏;周俊强 申请(专利权)人: 扬州市天洪机械有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 陈栋智
地址: 225000 *** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种应用于半导体清洗机台的防静电输送带,包括机台、传输装置、罩体、清洗装置以及除水降温装置;传输装置安装在机台中,传输装置上按顺序设置有进料区、输送区、清洗区、除水区、出料区及输送带,输送带上设置有若干半导体,且输送带采用防静电材料制成,用以吸收半导体的静电;罩体设置在机台顶部;清洗装置设置在机台中,清洗装置为可用以喷洒的清洗液,用以清洗半导体表面,并设置在清洗区;除水降温装置用以去除预设在半导体上的清洗液、且设置在机台的除水区中,本实用新型消除半导体在清洗风干过程所产生静电,解决输送带容易刮伤半导体表面的问题。
搜索关键词: 一种 应用于 半导体 清洗 机台 静电 输送带
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于扬州市天洪机械有限公司,未经扬州市天洪机械有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201922193423.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top