[实用新型]一种可调节大小的硅片夹具有效
| 申请号: | 201922179834.4 | 申请日: | 2019-12-06 |
| 公开(公告)号: | CN211709331U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
| 发明(设计)人: | 叶欣;胡普查;张广犬;孙培文;王俊;王亚伟;黄游;谢可馨 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
| 主分类号: | B25J15/00 | 分类号: | B25J15/00;B65G47/91 |
| 代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈小良 |
| 地址: | 310030 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种可调节大小的硅片夹具,包括安装板、夹紧模块、驱动模块,夹紧模块、驱动模块安装于安装板上。夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板,驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二,滑轨固定于安装板上,驱动气缸通过旋转板驱动连接于连杆一、连杆二上的滑块连接板滑动,从而使设置于滑块连接板上的靠板安装板与靠板对硅片进行夹紧或松开,本实用新型的可调节大小的硅片夹具硅片夹取效率高,人员依赖性低,具有夹取的硅片完整性好,速度快的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 调节 大小 硅片 夹具 | ||
【主权项】:
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