[实用新型]一种可调节大小的硅片夹具

说明书

本实用新型公开了一种可调节大小的硅片夹具，包括安装板、夹紧模块、驱动模块，夹紧模块、驱动模块安装于安装板上。夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板，驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二，滑轨固定于安装板上，驱动气缸通过旋转板驱动连接于连杆一、连杆二上的滑块连接板滑动，从而使设置于滑块连接板上的靠板安装板与靠板对硅片进行夹紧或松开，本实用新型的可调节大小的硅片夹具硅片夹取效率高，人员依赖性低，具有夹取的硅片完整性好，速度快的优点。

技术领域

本实用新型涉硅片装盒设备，具体涉及一种可调节大小的硅片夹具。

背景技术

在由于硅片属于易碎品，在运输途中为了避免损坏，所以采用泡沫盒将硅片装起来，每盒硅片之间用泡棉隔起来，最外层再各放一片瓦楞纸板，这样硅片在泡沫盒里面相对是静止的，在运送途中有泡棉的缓冲保护避免了碰撞损坏，由于这种“夹心”形式的装盒方式比较繁琐，目前传统的装盒还是采用人工方式装盒，装盒过程中，夹取、运输效率不高，人员依赖性高，增加装盒成本。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对上述问题，提供一种可调节大小的硅片夹具。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种可调节大小的硅片夹具，其中：包括安装板、夹紧模块、驱动模块，夹紧模块、驱动模块分别安装于安装板的两个面上，且驱动模块驱动连接夹紧模块；

夹紧模块包括线性滑轨、滑块连接板、靠板安装板、靠板，线性滑轨固定于安装板的两端，每条线性滑轨上滑动设置设有一块滑块连接板，靠板安装板卡接在滑块连接板上，靠板固定于靠板安装板上；

驱动模块包括驱动气缸、旋转板、连杆一、连杆二，驱动气缸固定于安装板，旋转板转动安装于安装板上，旋转板的一端连接驱动气缸、连杆一，连杆一的另一端连接一块滑块连接板的底面，旋转板的另一端连接连杆二，连杆二连接另一块滑块连接板的底面；

滑块连接板上设有多对定位销，靠板安装板上开设有与定位销位置相对应的定位孔，定位销卡接于定位孔内。

作为本实用新型的进一步优化方案，安装板的一侧开设有通孔，连杆二穿过通孔与连接板相连接。

作为本实用新型的进一步优化方案，安装板上设有硅片放置板，硅片放置板位于两块靠板安装板之间。

作为本实用新型的进一步优化方案，靠板安装板呈V形结构，两块靠板安装于靠板安装板的两端。

作为本实用新型的进一步优化方案，每条线性滑轨上设有两个止顶销，止顶销设置于线性滑轨的两端。

本实用新型的有益效果是：

通过设置定位销与定位孔，实现了夹取硅片大小的调节。

通过设置止顶销，实现了对两端滑块连接块的滑动位置的限定，保证靠板在夹紧的过程中不会损坏硅片。

通过设置旋转板与连杆一、连杆二，实现靠板安装板之间的同步开合。

附图说明

图1是本实用新型硅片装盒机构结构示意图；

图2是本实用新型硅片装盒机构俯视图；

图3是本实用新型硅片装盒机构仰视图；

1-安装板、2-夹紧模块、3-驱动模块、4-硅片放置板、5-止顶销、21- 线性滑轨、22-滑块连接板、23-靠板安装板、24-靠板、31-驱动气缸、32- 旋转板、33-连杆一、34-连杆二、221-定位销、231-定位孔。

具体实施方式