[实用新型]一种碳化硅高温氧化装置有效
| 申请号： | 201921596504.9 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN209853740U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 | 申请（专利权）人： | 四川矽芯微科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/956 | 分类号： | C01B32/956;F27B17/00;F27D11/02;F27D9/00;F27D1/18 |
| 代理公司： | 51238 成都玖和知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 胡琳梅 |
| 地址： | 629200 四川省遂*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及碳化硅高温氧化设备技术领域，具体为一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉，所述高温炉的上方设有炉盖；所述高温炉的内部开设有高温腔，所述高温炉的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块，所述凸块上开设有螺纹孔；该碳化硅高温氧化装置通过设有的电热管，便于提高炉内温度并对氧化硅进行高温氧化处理，同时设有的搁置机构，便于放置氧化硅，此外通过设有的水冷机构，当该高温炉使用过后，使用人员可以通过该水冷机构，迅速带走高温腔内的温度，达到快速降温的目的，提高了工作效率，解决了现有的氧化硅高温氧化设备在使用后难以快速降温的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 高温炉 高温氧化 碳化硅 氧化硅 高温氧化装置 快速降温 水冷机构 高温腔 凸块 设备技术领域 本实用新型 搁置机构 工作效率 圆周外壁 电热管 顶端处 螺纹孔 炉盖 炉内 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉(1)，其特征在于：所述高温炉(1)的上方设有炉盖(2)；所述高温炉(1)的内部开设有高温腔(11)，所述高温炉(1)的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块(12)，所述凸块(12)上开设有螺纹孔(121)，所述炉盖(2)的圆周外壁上呈环形等间距的设有四个凸耳(21)，所述凸耳(21)上穿设有螺栓(22)；所述高温腔(11)内从外至里依次设有水冷机构(4)、搁置机构(5)和电热管(6)；所述水冷机构(4)包括两个相互平行的环形管(41)，两个所述环形管(41)之间呈环形等间距的设有多个连接管(42)，位于上方的所述环形管(41)上设有进水管(44)，位于下方的所述环形管(41)上设有出水管(43)，且所述进水管(44)、所述环形管(41)、所述连接管(42)和所述出水管(43)依次相连通；所述搁置机构(5)包括多个在竖直方向上呈线性等间距设置的搁置皿(51)，所述搁置皿(51)上开设有搁置腔(511)，两个相邻的所述搁置皿(51)之间呈环形等间距的设有多个连杆(52)；所述电热管(6)通过螺栓与所述高温腔(11)的内底面固定连接；所述炉盖(2)上嵌设有进气管(7)，所述进气管(7)的一端穿过所述炉盖(2)并延伸至所述高温腔(11)内。/n
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