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[实用新型]碳化硅高温氧化进料装置-CN201921997964.2有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B65G65/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种碳化硅高温氧化进料装置，包括支架和位于支架上的高温氧化罐，高温氧化罐的下端安装有出料管，出料管上设有连接外接管路的连接管，连接管上设有第一阀门，高温氧化罐的上端设有送氧箱，送氧箱的上端安装有入料箱支架，入料箱支架上端安装有入料箱，入料箱的上端安装有进料管，进料管上设有进料漏斗，送氧箱内设有送氧腔，入料箱与送氧箱之间连接有第二传输管，第二传输管上设有第三阀门，高温氧化罐的一侧设有氧气罐，氧气罐上设有与送氧箱连通的第一传输管，氧气罐的一侧设有进气管，进气管上设有第二阀门，高温氧化罐的一侧设有用于对高温氧化罐内物料加热的加热箱。本实用新型可以有效提高碳化硅高温氧化的效率和质量。
碳化硅高温氧化进料装置

[实用新型]碳化硅半导体切片固定夹具及具有该夹具的切片机-CN201921998031.5有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种碳化硅半导体切片固定夹具，第三安装板上设有第一滑槽，第一滑槽内设有沿第一滑槽滑动的第一滚轮，第一滚轮设有一对，第一滚轮上安装有夹板，夹板的一侧安装有第二液压杆，第二液压杆上安装有第一液压泵，夹板相对的一侧均安装有第四安装板，第四安装板的下端安装有第五活塞，第五活塞上安装有第三活塞轴，第三活塞轴上安装有第六活塞，第六活塞上安装有第二滚轮安装座，第二滚轮安装座上安装有第二转轴，第二转轴的外周安装有第二滚轮。本实用新型还提出安装有上述碳化硅半导体切片固定夹具的切片机。本实用新型能够提高碳化硅半导体切片固定稳定性，进一步提高了切片的质量。
碳化硅半导体切片固定夹具具有切片机

[实用新型]碳化硅半导体高温氧化装置的导热结构-CN201921994244.0有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种碳化硅半导体高温氧化装置的导热结构，第一套筒安装在安装盖的下端，第二套筒安装在第一套筒的下端，第一套筒下端且位于第二套筒的外周安装有多个第一加热杆，第三套筒内设有用于安装第二套筒的第一限位腔，第二套筒内设有多个第二加热杆，第一套筒外壁与第三套筒内壁形成第二限位腔，安装盖上设有与第三限位腔连通的第三排气管，第一电阻丝安装在第一导热套内，第二电阻丝安装在第二导热套内，第一电阻丝的电阻大于第二电阻丝的电阻。本实用新型能够实现分区加热处理，可以实现对不同颗粒大小的碳化硅半导体进行分区氧化，实现不同温度的氧化导热处理，有效提高热效率，提高了氧化的效率和质量。
碳化硅半导体高温氧化装置导热结构

[实用新型]碳化硅高温氧化高效出料装置-CN201921996492.9有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种碳化硅高温氧化高效出料装置，包括处理箱，处理箱内设有处理腔，处理箱的上端安装有进料管，进料管上设有进料阀，处理箱的一侧设有第一支架，第一支架上安装有电机，电机靠近处理箱的一侧设有插入处理腔内的转轴，处理箱的下端安装有安装底座，处理箱的一侧安装有第二支架，第二支架上安装有锂电池，锂电池靠近处理箱的一侧安装有插入处理腔内的绝缘轴，绝缘轴内设有与锂电池电连接的导电线，绝缘轴在处理腔内安装有与导电线电连接的加热杆，加热杆与绝缘安装盘之间安装有绝缘安装套，处理箱的一侧设有与处理腔连通的出料管，出料管上设有出料阀。本实用新型能够有效提高碳化硅高温氧化出料的效率和质量。
碳化硅高温氧化高效装置

[实用新型]碳化硅半导体生产用粉碎装置-CN201921998274.9有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： B02C4/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种碳化硅半导体生产用粉碎装置，第一电机上安装有传送带，安装座上端安装有第一安装板，第一安装板上相对于传送带对称设有第二电机，第二转轴的外周安装有第一研磨辊，第三转轴的外周安装有第二研磨辊，传送带上且位于传送带的下方设有第一进料漏斗，第一进料漏斗的下方设有研磨箱，研磨箱内设有研磨腔，研磨腔内设有第三研磨辊，第三研磨辊的上端安装有第一转轴，第一转轴上安装有第三电机，第三电机上安装有第四安装板，第四安装板上安装有固定在研磨箱上的第三安装板，第一进料漏斗的下方设有进料管，研磨腔的上端设有与研磨腔连通的第二进料漏斗。本实用新型可以有效提高碳化硅半导体研磨粉碎的效率和质量。
碳化硅半导体生产粉碎装置

[实用新型]一种半导体芯片引脚检查辅助装置-CN201921602506.4有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，提供了一种半导体芯片引脚检查辅助装置，用于连接一视觉图形检测系统来对半导体芯片引脚进行检查，其包括圆形转盘和设置在该圆形转盘上的负压抓取工位，由负压抓取工位从第一传送通道抓取芯片供视觉图形检测系统进行检测，然后根据检测结果再由负压抓取工位放入第二传送通道或第三传送通道，通过本实用新型提供的辅助装置，可以对半导体芯片进行自动抓取供视觉图像检测系统，并且根据检测结果可以对半导体芯片进行分类输出，从而避免了人工的参与，且提高了检测效率。
抓取半导体芯片传送通道检测系统负压工位本实用新型辅助装置检测结果视觉图形圆形转盘半导体加工技术视觉图像引脚检查自动抓取人工的检测放入引脚芯片输出分类检查

[实用新型]一种碳化硅半导体生产过程中用的切片装置-CN201921595230.1有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅半导体切片技术领域，具体地说，涉及一种碳化硅半导体生产过程中用的切片装置，包括底座，底座上表面靠近右端处设有移动平台，底座上表面左端凸出面上靠近边缘处设有两个对称的支撑块，活动杆后端中间位置设有电机，且同轴连接有切割刀，切割刀上方设有切割片护罩，第一支撑板侧壁中间位置设有第一丝杆，第一丝杆末端设有活动板，每个第二支撑板侧壁中间位置均设有第二丝杆，每个第二丝杆末端均设有夹板；该碳化硅半导体生产过程中用的切片装置设置活动杆控制切割刀的上下移动，活动板和夹板控制横向和纵向的移动，一次固定可多次切割，操作简单，节省时间。
碳化硅半导体切割刀底座上表面夹板侧壁中间第二丝杆第一丝杆切片装置生产过程活动板活动杆支撑板本实用新型凸出切片技术上下移动同轴连接一次固定移动平台边缘处切割片护罩左端底座切割对称电机移动支撑

[实用新型]一种用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置-CN201921595227.X有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B02C1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅制备技术领域，具体为一种用于新能源汽车碳化硅器件的制备装置，包括制备箱，制备箱的顶端两侧固定有油缸，制备箱的内部焊接有筛框，制备箱的前侧面中间处开设有取物口，取物口的内部设置有置物框，置物框的底面焊接有网状薄板，油缸的活塞杆外端焊接有压板，筛框呈方框结构且内侧等间距焊接有若干隔板，若干斜台位于若干隔板之间。本实用新型通过将硅原料放入制备箱内的筛框上，被油缸推动的压板破碎，从筛框中筛分下落至置物框中，其粉末颗粒进一步被筛分下落至制备箱底部，从而得到不同粒径的硅原料，便于按产品的大小进行取用，同时破碎和筛分同时进行，节省了制备时间。
制备箱筛框置物框焊接隔板本实用新型硅原料取物口压板油缸制备破碎制备技术领域碳化硅器件新能源汽车方框结构粉末颗粒内部焊接内部设置网状薄板油缸推动制备装置活塞杆前侧面碳化硅中间处底面放入粒径取用外端斜台

[实用新型]一种用于半导体衬底研磨的半固结研磨盘-CN201921595222.7有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B24B37/11 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体衬底加工技术领域，具体地说，涉及一种用于半导体衬底研磨的半固结研磨盘，包括底部基盘，底部基盘上设有上部磨盘，上部磨盘的上表面设有若干个呈线性等间距排列的横向凹槽，上部磨盘的上表面还设有若干个呈线性等间距排列的竖向凹槽，横向凹槽与竖向凹槽将上部磨盘的上表面划分成多个打磨片，打磨片内设有若干个与外界相连通的蜂窝状填料孔，蜂窝状填料孔内、竖向凹槽内以及横向凹槽内均设有半固结研磨介质。本实用新型方便安装，研磨效果较好，且便于拆卸后进行更换。
磨盘横向凹槽竖向凹槽上表面本实用新型等间距排列蜂窝状填料固结研磨研磨打磨片基盘半导体便于拆卸衬底加工衬底

[实用新型]一种碳化硅高温氧化装置-CN201921596504.9有效
发明人：李晶;卢红亮;李勇刚;蒋镄铠 -专利权人：四川矽芯微科技有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： C01B32/956 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅高温氧化设备技术领域，具体为一种碳化硅高温氧化装置，包括高温炉，所述高温炉的上方设有炉盖；所述高温炉的内部开设有高温腔，所述高温炉的圆周外壁靠近顶端处呈环形等间距的设有四个凸块，所述凸块上开设有螺纹孔；该碳化硅高温氧化装置通过设有的电热管，便于提高炉内温度并对氧化硅进行高温氧化处理，同时设有的搁置机构，便于放置氧化硅，此外通过设有的水冷机构，当该高温炉使用过后，使用人员可以通过该水冷机构，迅速带走高温腔内的温度，达到快速降温的目的，提高了工作效率，解决了现有的氧化硅高温氧化设备在使用后难以快速降温的问题。
高温炉高温氧化碳化硅氧化硅高温氧化装置快速降温水冷机构高温腔凸块设备技术领域本实用新型搁置机构工作效率圆周外壁电热管顶端处螺纹孔炉盖炉内

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