[实用新型]一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路有效

专利信息
申请号: 201920553001.7 申请日: 2019-04-23
公开(公告)号: CN209656731U 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 刘本勇;高尚;彭建学;刘振兴 申请(专利权)人: 青岛航天半导体研究所有限公司
主分类号: G01P15/125 分类号: G01P15/125
代理公司: 37228 山东重诺律师事务所 代理人: 刘衍军<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 266071 *** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路,包括表头、伺服放大器、双路稳压电路、反馈阻容网络、跨导补偿放大器、电阻采样、低通滤波、电位平移、A/D采样、I2C总线接口、温度采样;表头包括力矩器组件、差动电容组件,伺服放大器包括前置变换放大器、跨导补偿放大器、反馈阻容网络、双路稳压电路,前置变换放大器包括三角波发生器、差动电容检测器、电流积分器、运算放大器,三角波发生器包括偏置电路、恒流源及其转换电路、输出电路。其优点是:实现了将电容信号转换为数字信号输出;提高了加速度计测量精度,减小了系统的体积;本实用新型在石油钻井、隧道开凿、精密惯性定位测量方面的需求量逐年增加,随着市场的进一步开拓,需求量将不断增加,具有十分广阔的市场前景。
搜索关键词: 跨导补偿放大器 三角波发生器 变换放大器 伺服放大器 差动电容 稳压电路 阻容网络 表头 前置 双路 需求量 石英挠性加速度计 检测器 本实用新型 电流积分器 力矩器组件 运算放大器 反馈 低通滤波 电容信号 电位平移 电阻采样 定位测量 加速度计 偏置电路 石油钻井 输出电路 数字输出 数字信号 伺服电路 隧道开凿 温度采样 转换电路 恒流源 减小 精密 测量 输出 转换
【主权项】:
1.一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路,其特征在于:包括表头、伺服放大器、电阻采样、低通滤波、电位平移、A/D采样、I2C总线接口、温度采样;/n所述表头、所述伺服放大器、所述电阻采样、所述低通滤波、所述电位平移、所述A/D采样、所述I2C总线接口依次电连接;/n所述伺服放大器包括前置变换放大器、跨导补偿放大器、反馈阻容网络、双路稳压电路,所述前置变换放大器、所述跨导补偿放大器、所述反馈阻容网络依次电连接,所述反馈阻容网络电连接所述前置变换放大器;所述双路稳压电路电连接所述前置变换放大器;/n所述温度采样与所述I2C总线接口电连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛航天半导体研究所有限公司,未经青岛航天半导体研究所有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201920553001.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
  • 一种开环微加速度计-201810137325.2
  • 谢国芬;唐彬;曲兵兵;刘显学;许蔚;莫与明 - 中国工程物理研究院电子工程研究所
  • 2018-02-10 - 2020-02-07 - G01P15/125
  • 本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容,上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接;下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反馈网络连接;校正电容的两个电容补偿阵列串联,第一电容补偿阵列的上极板通过第五开关与负反馈网络连接并通过第六开关与电源正极相连;第二电容补偿阵列的下极板通过第七开关与负反馈网络连接并通过第八开关与电源负极相连。本发明通过改变校正电容与敏感结构和后续处理电路的连接关系,可以省去输出前数字化非线性拟合补偿环节,降低硬件开销,同时避免生产时需要非线性校正导致效率低和成本高的问题。
  • 一种MEMS器件抗冲击止挡结构-201911110510.3
  • 凤瑞;周铭;商兴莲;蒋鹏;黄艳辉;鞠莉娜 - 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
  • 2019-11-14 - 2020-01-31 - G01P15/125
  • 本发明公开了一种MEMS器件抗冲击止挡结构,包括通过梁结构连接到锚点结构上的质量块;锚点结构将质量块和梁结构悬浮于检测电极上;在检测电极周边设置高度高于检测电极并且朝向质量块的止挡凸点结构;质量块上朝向止挡凸点结构的位置设置弹性接触结构。当外界输入垂直方向强冲击或振动时,质量块在惯性力作用下沿垂直方向运动,当冲击或振动使得质量块运动到设计限位值时,质量块上加工出的弹性接触结构与衬底层或盖帽对应位置处的止挡凸点发生碰撞接触。质量块上的弹性接触结构在碰撞接触后沿垂直方向发生变形,进而缓冲吸收冲击能量,避免止挡结构因与质量块碰撞而在其接触点或接触面上产生应力集中现象,减小产生破碎或断裂的可能性。
  • 具有双重质量块和集成式阻尼结构的多轴惯性传感器-201610537705.6
  • 汤俊;阿龙·A·盖斯贝格尔;玛格丽特·L·克尼芬 - 恩智浦美国有限公司
  • 2016-07-08 - 2020-01-31 - G01P15/125
  • 一种惯性传感器包括从衬底悬置且通过横杆互连的第一可移动元件和第二可移动元件。第二可移动元件邻近于第一可移动元件横向放置,并且可移动元件中的每一个具有相对于旋转轴不对称的质量块。第一弹簧系统将第一可移动元件耦合到衬底并且第二弹簧系统将第二可移动元件耦合到衬底。弹簧系统和横杆使得可移动元件能够响应于施加在可移动元件上的力一起移动。具体地说,第一可移动元件和第二可移动元件可以响应于施加在感测方向上的例如加速度等力而经历平面内扭转运动。另外,阻尼结构可以集成到第一可移动元件和第二可移动元件中以有效地增大由平面内扭转运动引起的装置的阻尼比。
  • 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体-201510494373.3
  • 田中悟 - 精工爱普生株式会社
  • 2015-08-12 - 2020-01-14 - G01P15/125
  • 本发明提供一种能够减少静电电容的偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有:摆动体(4),其具有支承部(41)以及经由连结部(43、44)而与支承部(41)连接的可动部(42),可动部(42)具有第一可动部(421)以及第二可动部(422);第一固定电极(51),其与第一可动部(421)对置配置;第二固定电极(52),其与第二可动部(422)对置配置;虚拟电极(53),其以与第二可动部(422)对置且不与第二固定电极(52)重叠的方式而配置,并且与摆动体(4)成为相同电位,第一固定电极(51)以其一部分在俯视观察时与支承部(41)重叠的方式而配置。
  • 电容式加速度计-201611019474.6
  • 沈靖凯 - 立积电子股份有限公司
  • 2012-03-20 - 2019-12-31 - G01P15/125
  • 本发明公开了一种电容式加速度计,包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上,包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件,及至少二第一梳状电容组及至少二第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。第一弹性件以对应于第一轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第一支撑基座间。第二弹性件以对应于第二轴向来回弯折的方式连接在第一质量块及第二支撑基座间。至少二第一梳状电容组及至少二第二梳状电容组设置在对应第一及第二轴向的位置上且连接于第一质量块。第一轴向垂直于第二轴向。借此,电容式加速度计的体积可进一步地缩减。
  • 一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法-201911008457.6
  • 张明;阮晓明;徐鑫;赵国良 - 西安微电子技术研究所
  • 2019-10-22 - 2019-12-17 - G01P15/125
  • 本发明提供了一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法,包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络,所述电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络,差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接,差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接,跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接;反馈网络与跨导/补偿放大器连接;所述的伺服电路全部元器件采用耐150℃高温元器件,全部元器件采用厚膜混合集成工艺封装在厚膜陶瓷基板上。通过与耐高温加速度传感器匹配,可提升加速度系统模块器件的耐高温能力,完成极端环境下对加速度的测量。
  • 微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法-201911008464.6
  • 张明;阮晓明;徐鑫 - 西安微电子技术研究所
  • 2019-10-22 - 2019-12-17 - G01P15/125
  • 本发明提供了一种微型金属全密封石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法,包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络,电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络,差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接,差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接,跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接;伺服电路全部元器件采用厚膜混合集成工艺集成在陶瓷基片上,伺服电路采用金属全密封封装。本发明采用金属平行缝焊封装形式的石英挠性加速度计伺服电路,实现了伺服电路全密封化,解决了伺服电路在极端环境下可靠性问题和散热问题。
  • 一种基于互联网的石英挠性加速度计-201920336770.1
  • 任德忠 - 廊坊市航新仪器仪表有限公司
  • 2019-03-18 - 2019-12-13 - G01P15/125
  • 本实用新型公开了一种基于互联网的石英挠性加速度计,包括加速度计,所述加速度计的输入端单向电连接有电器模块,所述加速度计的输出端单向电连接有数据输出模块,所述加速度计的输出端双向电连接有数据处理模块。本实用新型通过电器模块、数据输出模块、数据处理模块、数据存储模块、数据显示模块、数据采集模块、信息收发模块和数据库的设置,解决了传统的石英挠性加速度计对数据的采集和处理效果不佳,导致其对数据的测量精度降低,动态性能差,影响其在惯性系统中的使用,降低了石英挠性加速度计实用性的问题,该基于互联网的石英挠性加速度计,具备对数据采集和处理效果好的优点,值得推广。
  • MEMS 传感器和半导体封装-201580065424.9
  • 维莱-佩卡·吕特克宁;马蒂·柳库 - 株式会社村田制作所
  • 2015-11-24 - 2019-12-06 - G01P15/125
  • 本发明的MEMS传感器具有用于在旋转模式下测量在与弹簧轴线垂直的平面内方向上的加速度的可移动部件和固定部件。所述部件包括元件框架(1)、基板(7)、检测质量块(2)、与检测质量块(2)和基板(7)连接的弹簧(5)以及梳状电极(9a,9b)。MEMS传感器的主要特征在于部件的布置引起对于测量在覆盖纵向加速度和横向加速度的范围内的加速度的固有灵敏性。一个或更多个部件相对于元件框架(1)倾斜。本发明的半导体封装(12)包括至少一个MEMS传感器。
  • 三轴电容式微加速度计-201910923117.X
  • 唐彬;张照云;谢国芬;刘显学;熊壮;许蔚;苏伟;彭勃;杜连明 - 中国工程物理研究院电子工程研究所
  • 2019-09-27 - 2019-12-03 - G01P15/125
  • 本发明提供了一种三轴电容式微加速度计,该三轴电容式微加速度计包括:平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层;平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计;其中,第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计分别包括质量块、可动电极、固定电极、支撑梁、锚点区,质量块通过支撑梁悬空位于所述基底层顶部;摆式微加速度计包括中间极板、上极板及下极板,中间极板设置在上极板与下极板之间,上极板位于基底层,下极板位于衬底层。该三轴电容式微加速度计成在同一个芯片上,免除装配过程,具有稳定性高,体积小,制备成本低的优点。
  • 加速度传感器及加速度传感器的安装构造-201680006300.8
  • 杉本圭正 - 株式会社电装
  • 2016-01-07 - 2019-11-29 - G01P15/125
  • 加速度传感器具有半导体基板(14)、第1方向用可动电极(24、25)、第2方向用可动电极(26、27)、第1方向用固定电极(32、42)、第2方向用固定电极(52、62)、以及支承构件(21、22、23a、23b、28)。加速度传感器检测半导体基板的面方向的第1方向和第2方向的加速度。对于第1方向用可动电极和第1方向用固定电极来说,施加了第2方向的加速度而第1方向用可动电极进行了位移时的第1方向用可动电极与第1方向用固定电极的相对的部分的长度的增减、同第1方向用可动电极与第1方向用固定电极之间的间隔的增减一致。
  • 用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构-201710905553.5
  • 聂鲁燕;刘晓东;侯文超;王得信;仇恺;李立杰 - 中国船舶重工集团公司第七0七研究所
  • 2017-09-29 - 2019-11-26 - G01P15/125
  • 本发明涉及一种用于高分辨率石英挠性加速度计的真空保持结构,包括上、下导磁环部件、摆部件和连接环,摆部件由石英摆片、力矩器线圈和线圈骨架组成,上、下导磁环部件均由导磁环、圆柱形永磁体、导磁盖和导磁底座组成,导磁环的底部同轴安装在导磁盖上,该导磁盖的中心同轴制出一个向上凸起且开口朝下的凹槽,该凹槽的内部由上至下依次同轴设置圆柱形永磁体和导磁底座,该导磁底座与导磁盖激光密封焊接在一起形成封闭的腔体;导磁环部件成对使用同轴镜像安装,通过连接环激光密封焊接在一起,摆部件固装在其间。本发明通过在现有石英挠性加速度计结构基础上改进导磁环部件结构、增加激光焊接密封设计,保持加速度计内部的真空度,保持加速度计分辨率随时间的稳定性。
  • 一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路-201920553001.7
  • 刘本勇;高尚;彭建学;刘振兴 - 青岛航天半导体研究所有限公司
  • 2019-04-23 - 2019-11-19 - G01P15/125
  • 一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路,包括表头、伺服放大器、双路稳压电路、反馈阻容网络、跨导补偿放大器、电阻采样、低通滤波、电位平移、A/D采样、I2C总线接口、温度采样;表头包括力矩器组件、差动电容组件,伺服放大器包括前置变换放大器、跨导补偿放大器、反馈阻容网络、双路稳压电路,前置变换放大器包括三角波发生器、差动电容检测器、电流积分器、运算放大器,三角波发生器包括偏置电路、恒流源及其转换电路、输出电路。其优点是:实现了将电容信号转换为数字信号输出;提高了加速度计测量精度,减小了系统的体积;本实用新型在石油钻井、隧道开凿、精密惯性定位测量方面的需求量逐年增加,随着市场的进一步开拓,需求量将不断增加,具有十分广阔的市场前景。
  • MEMS传感器-201680036437.8
  • 维莱-佩卡·吕特克宁 - 株式会社村田制作所
  • 2016-06-22 - 2019-11-19 - G01P15/125
  • 本发明涉及一种用于测量线性加速度的具有可移动部件和固定部件的MEMS传感器。MEMS传感器包括布置在提供用于MEMS传感器的密封的壁的公共框架结构之内的至少两个相互独立的差分传感器元件。相互独立的差分传感器元件成对地配置成执行线性加速度的双差分检测。MEMS传感器包括公共锚定区域,所述至少两个成对布置的差分传感器元件锚定至公共锚定区域。公共锚定区域位于成对地配置的差分传感器元件的形心处。还提供了MEMS传感器的自检能力。
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top