[实用新型]无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪有效
| 申请号： | 201920322168.2 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN209656786U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 杨永强;丁海龙;程小豹;金玲 | 申请（专利权）人： | 江苏省特种设备安全监督检验研究院;苏州晶格电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/14 | 分类号： | G01R27/14;G01R1/073 |
| 代理公司： | 11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 曹桓<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，涉及石墨烯薄膜方块电阻测试技术领域。探针包括导电针体和导电弹性针头，其中，导电弹性针头与导电针体的一端部连接且导电弹性针头与导电针体之间能够导电，以使导电弹性针头与薄层材料接触时，导电弹性针头能够产生形变以防止破坏薄层材料。无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针、探头及测量仪，适用于对石墨烯薄膜及纳米级薄膜进行方块电阻测试，尤其适合对生长或转移到基底上的石墨烯薄膜进行无损、稳定、可重复的准确检测，同时也适合推广到其它薄膜材料的电导检测。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯薄膜 导电弹性 针头 导电针 探针 方块电阻测试 薄层材料 方块电阻 无损测量 测量仪 探头 纳米级薄膜 薄膜材料 电导检测 准确检测 可重复 形变 导电 基底 无损 生长 | ||
【主权项】：
1.一种无损测量石墨烯薄膜的方块电阻的探针，其特征在于，包括：/n导电针体；/n导电弹性针头，所述导电弹性针头与所述导电针体的一端部连接且所述导电弹性针头与所述导电针体之间能够导电，以使所述导电弹性针头与所述石墨烯薄膜接触时，所述导电弹性针头能够产生形变以防止破坏所述石墨烯薄膜。/n
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