[实用新型]基板处理装置

摘要

一种基板处理装置从处理液供给源获得处理液以处理基板，基板处理装置包括基板处理单元和处理液供给结构。基板处理单元容置基板，并使用处理液对基板进行处理。处理液供给结构提供处理液至基板处理单元，并包括变压驱动单元、管线和变压稳压单元。变压驱动单元包括输入端及输出端，输入端连通处理液供给源，变压驱动单元对处理液变动一指定压力，使输出端输出指定压力的处理液。管线包括第一端、第二端和第三端，第一端连通输出端，第二端连通基板处理单元，第三端位于第一端和第二端之间。变压稳压单元连接于第三端。

主权项

1.一种基板处理装置，从一处理液供给源获得一处理液以处理一基板，其特征在于，该基板处理装置包括：一基板处理单元，容置该基板，并使用该处理液对该基板进行处理；以及一处理液供给结构，提供该处理液至该基板处理单元，其中该处理液供给结构包括：一变压驱动单元，包括一输入端及一输出端，该输入端连通该处理液供给源，该变压驱动单元对该处理液变动一指定压力，使该输出端输出该指定压力的该处理液；一管线，包括一第一端、一第二端和一第三端，该第一端连通该输出端，该第二端连通该基板处理单元，该第三端位于该第一端和该第二端之间；以及一变压稳压单元，连接于该第三端，其中当该指定压力的该处理液供给至该基板处理单元，该变压稳压单元对该处理液提供对应该指定压力的一对应稳压。