[实用新型]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，从一处理液供给源获得一处理液以处理一基板，其特征在于，该基板处理装置包括：

一基板处理单元，容置该基板，并使用该处理液对该基板进行处理；以及

一处理液供给结构，提供该处理液至该基板处理单元，其中该处理液供给结构包括：

一变压驱动单元，包括一输入端及一输出端，该输入端连通该处理液供给源，该变压驱动单元对该处理液变动一指定压力，使该输出端输出该指定压力的该处理液；

一管线，包括一第一端、一第二端和一第三端，该第一端连通该输出端，该第二端连通该基板处理单元，该第三端位于该第一端和该第二端之间；以及

一变压稳压单元，连接于该第三端，其中当该指定压力的该处理液供给至该基板处理单元，该变压稳压单元对该处理液提供对应该指定压力的一对应稳压。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，该变压稳压单元更包括：

一蓄压单元，连接该第三端，其中该处理液流通于该管线及该蓄压单元；以及

一气压调整单元，连接该蓄压单元，该气压调整单元用以调整供给至该蓄压单元的气压值，以使该蓄压单元达到该对应稳压。

3.如权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，该气压调整单元更包括一增压件以及一泄压件；当欲调整该变压稳压单元的对应稳压时，可借由该增压件或该泄压件调整气压值。

4.如权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于，该气压调整单元更包括一压力监控件；当该处理液供给结构提供该指定压力的该处理液供给至该基板处理单元时，该气压调整单元依据该压力监控件的回馈，可控制该增压件对该蓄压单元维持该对应稳压。

5.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，该变压稳压单元更包括：

至少两蓄压单元，连接该第三端，该处理液流通于该管线及该至少两蓄压单元；

该至少两蓄压单元分别供给不同的固定气压值，可分别对应不同区间的该指定压力。

6.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，该变压稳压单元更包括：

一蓄压单元，连接该第三端，该处理液流通于该管线及该蓄压单元；当该蓄压单元尚未达到所需对应稳压时，该变压驱动单元先对该蓄压单元增压至该对应稳压，该处理液供给结构才开始提供该指定压力的该处理液供给至该基板处理单元。

7.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，该变压稳压单元更包括一泄压件，该泄压件连接该蓄压单元；当该蓄压单元超过所需对应稳压时，该泄压件先对该蓄压单元泄压至该对应稳压，该处理液供给结构才开始提供该指定压力的该处理液供给至该基板处理单元。

8.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，该处理液供给结构更包括一压力监控件，该压力监控件连接该管线；当该处理液供给结构提供该指定压力的该处理液供给至该基板处理单元时，该变压驱动单元依据该压力监控单元的回馈，可对该蓄压单元增压以维持该对应稳压。

9.如权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，当该管线压力低于该对应稳压的一区间时，该变压驱动单元对该蓄压单元增压以维持该对应稳压。

10.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，该基板处理单元更包括至少两处理槽，该至少两处理槽分别使用不同指定压力的该处理液对该基板进行处理。