[发明专利]一种带石墨烯层散热的封装结构及其制造方法有效
申请号: | 201911401656.3 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111180403B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 张江华;沈锦新 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L21/48 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种带石墨烯层散热的封装结构及其制造方法,所述封装结构包括芯片(3),所述芯片(3)除焊盘区域以外的上表面和侧面均设置有钝化层(4),所述钝化层(4)表面设置有石墨烯层(5),所述石墨烯层(5)沿着芯片下表面向外延伸至芯片(3)外围区域,所述芯片(3)焊盘位置设置第一铜柱(11),所述芯片(3)上表面的石墨烯层(5)上设置若干个第二铜柱(12),所述石墨烯层(5)延伸区域设置若干个第三铜柱(13),所述石墨烯层(5)外围区域设置多干个第四铜柱(14),所述铜柱之间填充塑封料(6)。本发明芯片封装结构中加入了散热功能极好的石墨烯层,使得芯片工作过程中能及时将热量散出,特别是部分芯片热量过高的区域,可以有效的降低芯片的热点值,从而让芯片更稳定的工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 散热 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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