[发明专利]一种组合图像传感器芯片的形成方法和芯片分离方法

摘要

本发明公开了一种组合图像传感器芯片的形成方法和芯片分离方法，其中，组合图像传感器芯片的形成方法包括：提供承载基底；在承载基底上通过热解膜临时键合多个滤光片、在滤光片上形成围堰、在围堰上键合图像传感器芯片，围堰、滤光片、和图像传感器芯片围成空腔，图像传感器芯片所在的一面为第一表面滤光片所在的一面为第二表面；提供环形边框以及切割膜、粘合膜，切割膜和粘合膜粘合在一起，且周边粘贴于环形边框，粘合膜所能承受的温度大于热解膜失效的温度；将切割膜粘合在第一表面上；加热使热解膜失效，以去除承载基底；利用拾片设备，将滤光片和图像传感器芯片构成的整体从切割膜上取下。