[发明专利]串联电阻更小的大规模交叉开关矩阵

摘要

本公开披露了用于减小串联电阻的技术。一种示例性方法包括：在临时基片上形成第一层；在第一层上形成第二层；蚀刻第一层和第二层以形成沟槽；经由沟槽电镀上电极，其中上电极部分形成于第二层的上表面；去除第一层和第二层；在临时基片和上电极上形成可固化层；从可固化层和上电极上去除临时基片；在可固化层和上电极上形成交叉点器件；在交叉点器件上形成下电极；在下电极上形成柔性基片。