[发明专利]流量可控的侧排气装置及具有该装置的拉晶炉有效
| 申请号： | 201911076441.9 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110714222B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 全弘湧 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量可控的侧排气装置和具有该装置的拉晶炉，装置包括：炉体，所述炉体内限定有腔室，所述炉体的顶部设有与所述腔室连通的拉晶口；基座，所述基座设在所述腔室内；坩埚，所述坩埚设在所述基座上；所述炉体的侧壁上设有与所述腔室连通的第一出口以排出所述腔室内的气体，所述第一出口位于所述坩埚的上方。在多晶硅熔融过程中产生的氧化物能够通过第一出口排出，避免含有氧化物的气体向侧排气装置下部的隔热材料及其他结构件方向流动，避免氧化物附着在隔热材料及其他结构件上，避免蚀刻隔热材料及其他结构件，延长隔热材料及其他结构件的寿命，保证隔热材料的隔热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 可控 排气装置 具有 装置 拉晶炉 | ||
【主权项】：
1.一种流量可控的侧排气装置，其特征在于，包括：/n炉体，所述炉体内限定有腔室，所述炉体的顶部设有与所述腔室连通的拉晶口；/n基座，所述基座设在所述腔室内；/n坩埚，所述坩埚设在所述基座上；/n所述炉体的侧壁上设有与所述腔室连通的第一出口以排出所述腔室内的气体，所述第一出口位于所述坩埚的上方。/n
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