[发明专利]流量可控的侧排气装置及具有该装置的拉晶炉

权利要求书

1.一种流量可控的侧排气装置，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体内限定有腔室，所述炉体的顶部设有与所述腔室连通的拉晶口；

基座，所述基座设在所述腔室内；

坩埚，所述坩埚设在所述基座上；

所述炉体的侧壁上设有与所述腔室连通的第一出口以排出所述腔室内的气体，所述第一出口位于所述坩埚的上方；

所述坩埚的外侧设有加热器，所述腔室中设有安装壳，所述安装壳上限定有一侧开口的安装腔，所述安装壳上的开口朝向所述坩埚，所述加热器设置在所述安装腔中；

所述安装壳上设有通气管，所述通气管的一端设在所述安装腔的底部，所述通气管的另一端与惰性气体供应装置连通；

所述安装壳的内侧壁上涂覆反射层。

2.根据权利要求1所述的侧排气装置，其特征在于，所述炉体的侧壁上设有多个所述第一出口，多个所述第一出口沿所述炉体的周向间隔开均匀分布。

3.根据权利要求1所述的侧排气装置，其特征在于，所述炉体的底部设有与所述腔室连通的第二出口。

4.根据权利要求3所述的侧排气装置，其特征在于，所述炉体的底部设有多个所述第二出口，多个所述第二出口间隔开分布在所述炉体的底部。

5.根据权利要求4所述的侧排气装置，其特征在于，所述第二出口邻近所述炉体的侧壁设置。

6.根据权利要求3所述的侧排气装置，其特征在于，所述炉体的外部分别设有第一管道和第二管道，所述第一管道的一端与所述第一出口连通，所述第二管道的一端与所述第二出口连通，所述第一管道的另一端与所述第二管道的另一端连通。

7.根据权利要求6所述的侧排气装置，其特征在于，所述第一出口或所述第一管道上设有第一调节阀以调节流出所述第一出口的气体流量。

8.根据权利要求6或7所述的侧排气装置，其特征在于，所述第二出口或所述第二管道上设有第二调节阀以调节流出所述第二出口的气体流量。

9.根据权利要求1所述的侧排气装置，其特征在于，所述加热器与所述炉体的内壁之间设有隔热材料，和/或所述基座的外侧壁上设有隔热材料。

10.一种拉晶炉，包括如权利要求1-9中任一项所述的侧排气装置。