[发明专利]高频声波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910925098.4 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110601674B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;王成立;张师斌;周鸿燕;黄凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H3/10 | 分类号： | H03H3/10 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高频声波谐振器及其制备方法，高频声波谐振器至少包括：支撑衬底；位于所述支撑衬底上表面的图案化介质层；位于所述图案化介质层表面的压电膜；位于所述压电膜表面的图案化上电极。本发明的高频声波谐振器及其制备方法，通过在压电膜下方形成图案化介质层，可极大减少压电膜中传播的高频声波能量向衬底泄露，从而形成高频谐振，并使高频声波谐振器保持较高的Q值，并且由于图案与介质材料的可调整性，使得高频声波谐振器综合性能可以根据实际情况进行参数选择。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高频声波谐振器，其特征在于，所述高频声波谐振器至少包括：/n支撑衬底；/n位于所述支撑衬底上表面的图案化介质层；/n位于所述图案化介质层表面的压电膜；/n位于所述压电膜表面的图案化上电极。/n
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