[发明专利]一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201910916430.0 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110649153B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 曹家强 | 申请（专利权）人： | 中电科技集团重庆声光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/312;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 401332 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及声光器件技术领域，具体涉及一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法，一种多层金属薄膜键合层结构，包括：压电晶片和锗砷硒GeAsSe玻璃，其特征在于，分别在GeAsSe玻璃和压电晶片表面依次镀制Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，GeAsSe玻璃的Sn膜层和压电晶片的Sn膜层键合在一起形成Cr、Al、Ti、Sn、Ti、Al、Cr七层金属膜键合层结构。本发明采用Cr、Al、Ti、Sn金属膜层代替传统的Cr、Sn薄膜结构，使得键合层与GeAsSe玻璃之间的的附着力大大增强；压电晶片与GeAsSe玻璃的剪切强度提高；声光器件切割后压电晶片附着牢固，器件可靠性和成品率得到有效提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 金属 薄膜 键合层 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层金属薄膜键合层结构，包括：压电晶片和锗砷硒GeAsSe玻璃，其特征在于，GeAsSe玻璃上表面从下往上依次镀制有Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，压电晶片下表面从上往下依次镀制有Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，GeAsSe玻璃的Sn膜层和压电晶片的Sn膜层键合在一起形成Cr、Al、Ti、Sn、Ti、Al、Cr七层金属膜键合层结构。/n
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- 木嶋薰;泷辰哉;上野俊辅;江泽敦;须见春奈;武田知洋 - TDK株式会社
- 2018-02-07 - 2022-05-06 - H01L41/053
- 本发明所涉及的振动器件包括压电元件、电绝缘性的树脂构件、由金属构成的振动构件、第一粘结层和第二粘结层。树脂构件具有彼此相对的第一主面和第二主面。振动构件具有彼此相对的第三主面和第四主面。第一粘结层将压电元件与树脂构件的第一主面接合。第二粘结层将树脂构件的第二主面与振动构件的第三主面接合。树脂构件的面积大于压电元件的面积，并且振动构件的面积大于压电元件的面积。第二粘结层与振动构件相粘结的面积大于第一粘结层与树脂构件相粘结的面积。
- 整合压电组件的基板模块-202011172218.7
- 郑岳世;古宜训 - 华一声学股份有限公司
- 2020-10-28 - 2022-04-29 - H01L41/053
- 本发明提供一种整合压电组件的基板模块。其包括一基板，具有至少一功能区块，每一功能区块中具有至少一间隔层贴合于基板的背面，及至少一平面式压电组件，至少一平面式压电组件贴合于间隔层相对于基板的一侧面；其中，至少一平面式压电组件能够接收一信号源输出的电压信号后因逆压电效应产生震动进而驱动基板产生震动，或者能够受到基板的震动或应变而被驱动，而使得平面式压电组件因压电效应产生一响应信号。
- 用于产生触觉信号的设备-202180005295.X
- B·斯坦杰;A·彭彻-斯坦尼;J·伯格 - TDK电子股份有限公司
- 2021-06-17 - 2022-04-19 - H01L41/053
- 本发明涉及一种用于产生触觉信号的设备，所述设备具有：用于产生振动的触觉模块（100）；平行于彼此布置的基板（14）和覆盖板（13），其中，覆盖板（13）具有指向基板（14）的止挡面（24）和远离基板（14）指向的上侧部，其中，触觉模块（100）布置在基板（14）与覆盖板（13）之间，其中，触觉模块（100）的第一部分区域（11）抵靠在覆盖板（13）的止挡面（24）处，并且触觉模块（100）的第二部分区域（11）抵靠在基板（14）处；和经弹簧加载的悬挂装置（16），基板（14）和覆盖板（13）通过所述经弹簧加载的悬挂装置机械地彼此连接，其中，经弹簧加载的悬挂装置（16）如此设计，使得当覆盖板（13）位于中性位置中并且力朝着基板（14）的方向被施加到覆盖板（13）的上侧部的任意点上时，覆盖板（13）的止挡面（24）向基板（14）上运动。
- 专利分类
