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- [发明专利]弹性波装置-CN202180071572.7在审
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木村哲也;久保新太郎;岸本谕卓;大村正志;山田一
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株式会社村田制作所
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2021-10-15
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2023-07-14
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H03H9/25
- 提供一种弹性波装置，能够抑制在电介质膜产生裂纹及压电体层粘贴于电介质膜。弹性波装置(10)具备支承基板(12)、电介质膜(13)、压电层(14)和IDT电极(15)(激励电极)。压电层(14)具有第1、第2主面(14a、14b)。第2主面(14b)位于电介质膜(13)侧。在电介质膜(13)设置有空洞部(11a)。空洞部(11a)在俯视下与IDT电极(15)的至少一部分重叠。电介质膜(13)具有面向空洞部(11a)的侧壁面(13a)。侧壁面(13a)具有倾斜为越远离压电层(14)则空洞部(11a)的宽度变得越窄的倾斜部(13c)。倾斜部(13c)至少包括侧壁面(13c)中的压电层(14)侧的端部。在将倾斜部(13c)和压电层(14)的第2主面(14b)所成的角度设为倾斜角度α时，倾斜角度α为40°以上且80°以下。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202180069670.7在审
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大村正志
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株式会社村田制作所
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2021-10-14
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2023-06-23
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H03H9/17
- 提供即便在压电体层在线膨胀系数具有各向异性的情况下也能够抑制压电体层的翘曲的弹性波装置。本发明的弹性波装置(1)具备支承基板(2)、设置在支承基板(2)上且具有相对置的第一第二主面(4a、4b)的压电体层(4)、设置于第一主面(4a)的第一电极(5)及设置于第二主面(4b)且与第一电极(5)对置的第二电极(6)。支承基板(2)与压电体层(4)之间设置有能量封闭部。压电体层(4)具有第一方向(W1)及与第一方向(W1)正交的第二方向(w2)。在压电体层(4)中，第一方向(W1)上的压电体层(4)的线膨胀系数与第二方向(w2)上的压电体层(4)的线膨胀系数不同。压电体层(4)、第一电极(5)及第二电极(6)中的至少一个与第一方向(W1)平行地延伸。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN201880062758.4有效
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大村正志
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株式会社村田制作所
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2018-09-26
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2023-04-25
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H03H9/25
- 在抑制频率特性的下降的同时进一步提高耐电力性。第1IDT电极(7A)以及第2IDT电极(7B)通过相互共有的公共汇流条(70)而相互串联连接。关于第1声阻抗层(4A)以及第2声阻抗层(4B)各自，至少一个高声阻抗层(41)以及至少一个低声阻抗层的至少一个为导电层。第1声阻抗层(4A)中的导电层的至少一部分和第2声阻抗层(4B)中的导电层的至少一部分在从压电体层(5)的厚度方向的俯视下不与公共汇流条(70)重复。第1声阻抗层(4A)中的导电层和第2声阻抗层(4B)中的导电层被电绝缘。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置以及弹性波装置的制造方法-CN201880062801.7有效
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大村正志
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株式会社村田制作所
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2018-09-26
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2023-04-18
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H03H9/25
- 在抑制特性劣化的同时谋求小型化。弹性波装置(1)具有第1声阻抗层(31)以及第2声阻抗层(32、33)、IDT电极(5)和电极(61、62)。IDT电极(5)的至少一部分与第1声阻抗层(31)相重叠。电极(61、62)的至少一部分与第2声阻抗层(32、33)相重叠。在第1声阻抗层(31)以及第2声阻抗层(32、33)各自中，高声阻抗层或低声阻抗层为导电层。由第2声阻抗层(32、33)的导电层和电极(61、62)形成了电容器(71、72)。第1声阻抗层(31)中的导电层与第2声阻抗层(32、33)中的导电层电绝缘。
- 弹性装置以及制造方法
- [发明专利]复合元件-CN201811120744.1有效
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谷口康政;大村正志;山根毅
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株式会社村田制作所
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2018-09-25
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2023-02-24
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H03H9/25
- 本发明提供一种在构成有半导体元件的硅基板上设置有弹性波元件且弹性波元件的特性不易劣化的复合元件。复合元件(10)具备：硅基板(3)，具有相互对置的第一主面(3a)以及第二主面(3b)；半导体元件(2)，在硅基板(3)的第一主面(3a)侧以及第二主面(3b)侧中的至少一方构成；以及弹性波元件(1)，具有直接或间接地设置在硅基板(3)的第一主面(3a)上的氧化硅膜(4)、直接设置在氧化硅膜(4)上的压电体层(5)、以及设置在压电体层(5)上的IDT电极(6)。在将由IDT电极(6)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(5)的厚度为2.5λ以下。
- 复合元件
- [发明专利]弹性波装置及其制造方法-CN201780034713.1有效
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木村哲也;岸本谕卓;大村正志
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株式会社村田制作所
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2017-04-11
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2022-08-12
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H03H9/25
- 本发明提供一种耐湿性优异的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：支承基板(2)，在上表面设置有凹部(2c)；压电薄膜(4)，在支承基板(2)上设置为覆盖支承基板(2)的凹部(2c)；IDT电极(5)，在压电薄膜(4)设置于支承基板(2)侧的主面(4a)上；以及中间层(8)，在压电薄膜(4)设置于与支承基板(2)相反侧的主面(4b)上，构成有被支承基板(2)和压电薄膜(4)包围的空间(9)，IDT电极(5)配置为面向空间(9)，在压电薄膜(4)以及中间层(8)设置有从中间层(8)的与压电薄膜(4)相反侧的主面(8B)到达空间(9)的贯通孔(11、12)，在中间层(8)上还具备设置为覆盖贯通孔(11、12)的开口端的覆盖构件(19)。
- 弹性装置及其制造方法
- [发明专利]弹性波装置-CN202080084030.9在审
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大村正志
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株式会社村田制作所
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2020-12-04
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2022-07-22
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H03H9/17
- 提供一种即使在使用了具有各向异性的压电体的情况下也能充分抑制杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体(2)；第1电极(3)，设置在压电体(2)的第1主面(2a)；第2电极(4)，设置在第2主面(2b)；声反射部，具有气隙(G)；及质量附加膜(6)，设置在第1电极(3)以及第2电极(4)上和所述第1电极(3)或所述第2电极(4)的外侧中的至少一者，在俯视时，所述第1电极以及质量附加膜中的至少一者与所述第2电极相互重叠的区域具有第1区域和包围第1区域的第2区域，关于质量附加膜(6)，在第2区域中，压电体(2)的平面内的第1方向(A)两侧的质量附加膜部分(6b、6d)的结构和第2方向(B)两侧的质量附加膜部分(6a、6c)的结构不同。
- 弹性装置
- [发明专利]梯型滤波器-CN201580049196.6有效
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大村正志
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株式会社村田制作所
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2015-09-10
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2021-10-26
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够减小布线间的电容且难以产生寄生电容等所引起的特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支承基板(24)上层叠压电基板(5)，在压电基板(5)上设置有IDT电极(21)。在压电基板(5)上设置有多个布线部(16b，13)。在至少一个布线部(16b，13)的下方以及布线部间的区域的下方当中的至少一方，在支承基板(24)设置有第1空腔部(31)。
- 滤波器
- [发明专利]弹性波装置-CN201980080668.2在审
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大村正志;木村哲也
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株式会社村田制作所
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2019-12-04
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2021-07-23
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H03H9/145
- 提供一种能够使谐振特性提高的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板、声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)。在声反射层(3)中，高声阻抗层(31)以及低声阻抗层中的至少一个为导电层。在将由IDT电极(5)的电极指间距(P1)决定的弹性波的波长设为λ，将多个第1电极指(53)的前端的包络线(L1)与多个第2电极指(54)的前端的包络线(L2)之间的区域设为交叉区域(55)时，在从支承基板的厚度方向的俯视下，导电层(高声阻抗层31)至少与交叉区域(55)重复，在多个第1电极指(53)延伸的方向上从多个第1电极指(53)的前端到导电层的端部(高声阻抗层31的端部31A)为止距离(d1)大于0且为12λ以下。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN201680048608.9有效
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岸本谕卓;大村正志;木村哲也
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株式会社村田制作所
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2016-06-22
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2021-06-18
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H03H9/145
- 本发明提供一种利用了板波的S0模式的弹性波装置，其中，即使电极膜厚变化，也不易产生声速、频率特性的偏差。在压电薄膜(5)的第一主面(5a)上设置有具有多根电极指的IDT电极(6)。在压电薄膜(5)的第二主面(5b)上设置有导电层(8)。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜(5)中传播的弹性波为板波的S0模式，处于所述IDT电极(6)的电极指间下方的区域的压电薄膜(5)部分比电极指以及处于电极指下方的区域的压电薄膜(5)部分变化得大。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN201680055793.4有效
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岸本谕卓;大村正志;木村哲也
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株式会社村田制作所
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2016-07-25
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2021-05-11
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H03H9/145
- 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置，其中，能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3)；设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4)；以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5)，声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层，该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f)，还具备接合层(9)，该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。
- 弹性装置
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