[发明专利]运动机构及具有其的离子注入机在审
| 申请号： | 201910879574.3 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112530771A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 郑斌 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/18;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 李建忠;袁礼君 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开涉及半导体储存器技术领域，提出了一种运动机构及具有其的离子注入机，运动机构包括操纵器、连杆以及防护件，连杆设置在反应腔的内部，操纵器位于反应腔的外部，操纵器与连杆驱动连接，以驱动连杆相对于反应腔活动；防护件用于设置在反应腔的内部，防护件具有防护腔，连杆穿设在防护腔内，且与防护件相连接，以带动防护件活动。本公开的运动机构通过操纵器驱动连杆在反应腔的内部活动，而防护件的设置可以避免反应腔内部的反应物附着于连杆上，其应用于真空与大气之间，可以使得反应腔更易维持高真空。 | ||
| 搜索关键词： | 运动 机构 具有 离子 注入 | ||
【主权项】：
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