[发明专利]运动机构及具有其的离子注入机

权利要求书

1.一种运动机构，其特征在于，包括：

操纵器；

连杆，所述连杆设置在反应腔的内部，所述操纵器位于所述反应腔的外部，所述操纵器与所述连杆驱动连接，以驱动所述连杆相对于所述反应腔活动；

防护件，所述防护件用于设置在所述反应腔的内部，所述防护件具有防护腔，所述连杆穿设在所述防护腔内，且与所述防护件相连接，以带动所述防护件活动。

2.根据权利要求1所述的运动机构，其特征在于，所述防护件靠近所述操纵器的一端用于与所述反应腔的腔壁相连接，所述防护件远离所述操纵器的另一端与所述连杆相连接。

3.根据权利要求2所述的运动机构，其特征在于，所述防护件与所述连杆焊接或通过第一紧固件相连接；

和/或，所述防护件与所述反应腔的腔壁焊接或通过第二紧固件相连接。

4.根据权利要求2所述的运动机构，其特征在于，所述防护件与所述连杆之间具有第一间隙，所述运动机构还包括：第一密封件，所述第一密封件套设在所述连杆上，用于密封所述第一间隙；

和/或，所述防护件与所述反应腔的腔壁之间具有第二间隙，所述运动机构还包括：第二密封件，所述第二密封件设置在所述反应腔的腔壁上，用于密封所述第二间隙。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的运动机构，其特征在于，所述防护件的两端分别包括套筒段和基底段，所述套筒段套设在所述连杆上，且与所述连杆的周向外边缘固定连接，所述基底段与所述反应腔的腔壁相对且固定连接。

6.根据权利要求5所述的运动机构，其特征在于，所述防护件还包括：

主体段，所述主体段的两端分别连接所述套筒段和所述基底段，所述套筒段、所述主体段以及所述基底段的内腔形成了所述防护腔，所述主体段为波纹管段；

其中，所述主体段与所述套筒段相连接的一端所围成的面积小于所述主体段与所述基底段相连接的另一端所围成的面积。

7.根据权利要求6所述的运动机构，其特征在于，所述防护腔的横截面的面积由所述主体段与所述套筒段相连接的一端向所述主体段与所述基底段相连接的另一端逐渐变化。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的运动机构，其特征在于，所述防护件的外表面设置有高温防腐涂层。

9.一种离子注入机，其特征在于，包括权利要求1至8中任一项所述的运动机构、反应腔以及电极，所述电极设置在所述反应腔内，所述连杆穿过所述防护腔后与所述电极相连接。

10.根据权利要求9所述的离子注入机，其特征在于，所述离子注入机还包括：

本体部，所述本体部包括所述反应腔，所述连杆穿过所述本体部后位于所述反应腔内；

密封圈，所述密封圈设置在所述连杆与所述本体部之间。