[发明专利]一种AlGaN基紫外LED外延结构在审

专利信息
申请号: 201910875250.2 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN110473941A 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 谷怀民;石恒志;李继航;刘娜娜 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: H01L33/06 分类号: H01L33/06;H01L33/14;H01L33/30;H01L33/32
代理公司: 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人: 江裕强<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 510631 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种AlGaN基紫外LED外延结构,包括从下至上依次排布的衬底、N型层、空穴阻挡层、多量子阱有源区、电子阻挡层、P型层,还包括从N型层引出的n型欧姆接触电极以及从P型层引出的p型欧姆接触电极。由于有源区两侧分别设置了n型掺杂的空穴阻挡层和p型掺杂的电子阻挡层,对量子阱内载流子具有强的限制效应,能够有效抑制载流子溢出有源区,且也能加强载流子的注入效率,进而也提高了载流子在有源区的复合效率。相比LED传统结构,该外延结构具有较高的光输出功率和内量子效率。
搜索关键词: 载流子 源区 电子阻挡层 空穴阻挡层 外延结构 多量子阱有源区 光输出功率 内量子效率 传统结构 复合效率 有效抑制 注入效率 紫外LED 量子阱 衬底 排布 溢出
【主权项】:
1.一种AlGaN基紫外LED外延结构,其特征在于,包括从下至上依次排布的衬底(1)、N型层(2)、空穴阻挡层(3)、多量子阱有源区(4)、电子阻挡层(5)、P型层(6),还包括从N型层(2)的上表面引出的n型欧姆接触电极(0)以及从P型层(6)的上表面引出的p型欧姆接触电极(7)。/n
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